Low-pressure RF multi-plasma-jet system for deposition of alloy and composite films.
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F01%3A02010441" target="_blank" >RIV/68378271:_____/01:02010441 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Low-pressure RF multi-plasma-jet system for deposition of alloy and composite films.
Popis výsledku v původním jazyce
A plasma-chemical reactor with a multi-plasma-jet RF holow-cathode system has been developed for the deposition of alloy and composite thin films. Two primary plasma-jet channels and one secondary plasma channel were created in the volume of the reactor.
Název v anglickém jazyce
Low-pressure RF multi-plasma-jet system for deposition of alloy and composite films.
Popis výsledku anglicky
A plasma-chemical reactor with a multi-plasma-jet RF holow-cathode system has been developed for the deposition of alloy and composite thin films. Two primary plasma-jet channels and one secondary plasma channel were created in the volume of the reactor.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2001
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Surface and Coatings Technology
ISSN
0257-8972
e-ISSN
—
Svazek periodika
148
Číslo periodika v rámci svazku
N/A
Stát vydavatele periodika
NL - Nizozemsko
Počet stran výsledku
7
Strana od-do
199-205
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—