Energy and composition of the ion flux in microwave electron cyclotron resonance/radio frequency methan plasma.

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F03%3A02030256" target="_blank" >RIV/68378271:_____/03:02030256 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Energy and composition of the ion flux in microwave electron cyclotron resonance/radio frequency methan plasma.
Popis výsledku v původním jazyce
The microwave electron cyclotron resonance/r.f. discharge in methane/argon working gas has been studied by a means of energy resolved ion mass spectrometry.The ion energy distribution and composition of the ion flux at a substrate was measured for microwave power ranging from 50 to 600 W, r.f. biases from 0 to -200 V and total pressure from 0.05 to 1 Pa.
Název v anglickém jazyce
Energy and composition of the ion flux in microwave electron cyclotron resonance/radio frequency methan plasma.
Popis výsledku anglicky
The microwave electron cyclotron resonance/r.f. discharge in methane/argon working gas has been studied by a means of energy resolved ion mass spectrometry.The ion energy distribution and composition of the ion flux at a substrate was measured for microwave power ranging from 50 to 600 W, r.f. biases from 0 to -200 V and total pressure from 0.05 to 1 Pa.

Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—

Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění
2003
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)