Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Energy and composition of the ion flux in microwave electron cyclotron resonance/radio frequency methan plasma.

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F03%3A02030256" target="_blank" >RIV/68378271:_____/03:02030256 - isvavai.cz</a>

  • Výsledek na webu

  • DOI - Digital Object Identifier

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    Energy and composition of the ion flux in microwave electron cyclotron resonance/radio frequency methan plasma.

  • Popis výsledku v původním jazyce

    The microwave electron cyclotron resonance/r.f. discharge in methane/argon working gas has been studied by a means of energy resolved ion mass spectrometry.The ion energy distribution and composition of the ion flux at a substrate was measured for microwave power ranging from 50 to 600 W, r.f. biases from 0 to -200 V and total pressure from 0.05 to 1 Pa.

  • Název v anglickém jazyce

    Energy and composition of the ion flux in microwave electron cyclotron resonance/radio frequency methan plasma.

  • Popis výsledku anglicky

    The microwave electron cyclotron resonance/r.f. discharge in methane/argon working gas has been studied by a means of energy resolved ion mass spectrometry.The ion energy distribution and composition of the ion flux at a substrate was measured for microwave power ranging from 50 to 600 W, r.f. biases from 0 to -200 V and total pressure from 0.05 to 1 Pa.

Klasifikace

  • Druh

    J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

  • CEP obor

    BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

    Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

  • Návaznosti

    P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2003

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název periodika

    Surface and Coating Technology

  • ISSN

    0257-8972

  • e-ISSN

  • Svazek periodika

    173-174

  • Číslo periodika v rámci svazku

    N/A

  • Stát vydavatele periodika

    NL - Nizozemsko

  • Počet stran výsledku

    4

  • Strana od-do

    914-917

  • Kód UT WoS článku

  • EID výsledku v databázi Scopus