Depozice Bax Sr1-xTiO3 tenkých vrstev pomocí RF výboje v duté katodě

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F05%3A00023637" target="_blank" >RIV/68378271:_____/05:00023637 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/00216208:11320/05:00001069

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Bax Sr1-xTiO3 Thin Films Deposited by RF Hollow Cathode Plasma Jet Technique

Popis výsledku v původním jazyce

The RF modulated plasma jet system was used for the deposition of Bax Sr1-xTiO3 (BST), and SrTiO3 (STO) thin films on Si and multi-layer system Si/SiO2/TiO2/Pt substrates. BSTO and STO thin films were analyzed by X-ray diffraction. During deposition, thesubstrate was heated at 500 oC . Emission spectroscopy of the plasma was used for control of concentration of sputtered particles from the hollow cathode mainly Sr and Ba atoms. XRD diffraction confirmed presence of BSTO and STO perovskite phase in thefilms.

Název v anglickém jazyce

Bax Sr1-xTiO3 Thin Films Deposited by RF Hollow Cathode Plasma Jet Technique

Popis výsledku anglicky

The RF modulated plasma jet system was used for the deposition of Bax Sr1-xTiO3 (BST), and SrTiO3 (STO) thin films on Si and multi-layer system Si/SiO2/TiO2/Pt substrates. BSTO and STO thin films were analyzed by X-ray diffraction. During deposition, thesubstrate was heated at 500 oC . Emission spectroscopy of the plasma was used for control of concentration of sputtered particles from the hollow cathode mainly Sr and Ba atoms. XRD diffraction confirmed presence of BSTO and STO perovskite phase in thefilms.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2005

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Ferroelectrics

ISSN

0015-0193

e-ISSN

—

Svazek periodika

317

Číslo periodika v rámci svazku

-

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

1-5

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—