Deposition of BaxSr1-xTiO3 thin films by double RF hollow cathode plasma jet system
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F08%3A00319065" target="_blank" >RIV/68378271:_____/08:00319065 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Deposition of BaxSr1-xTiO3 thin films by double RF hollow cathode plasma jet system
Popis výsledku v původním jazyce
Low-pressure plasma jet system with two hollow cathodes was used for deposition of BaxSr1-xTiO3 (BSTO) ferroelectric thin films. In the experiment, the composition of BSTO films was controlled by magnitude of average RF power applied on particular plasmajet guns with STO and BTO nozzles. X-ray diffraction proved that BSTO thin films were polycrystalline with perovskite structure and measurement of dielectric properties showed ferroelectric hysteresis loop at room temperature.
Název v anglickém jazyce
Deposition of BaxSr1-xTiO3 thin films by double RF hollow cathode plasma jet system
Popis výsledku anglicky
Low-pressure plasma jet system with two hollow cathodes was used for deposition of BaxSr1-xTiO3 (BSTO) ferroelectric thin films. In the experiment, the composition of BSTO films was controlled by magnitude of average RF power applied on particular plasmajet guns with STO and BTO nozzles. X-ray diffraction proved that BSTO thin films were polycrystalline with perovskite structure and measurement of dielectric properties showed ferroelectric hysteresis loop at room temperature.
Klasifikace
Druh
J<sub>imp</sub> - Článek v periodiku v databázi Web of Science
CEP obor
—
OECD FORD obor
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2008
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Contributions to Plasma Physics
ISSN
0863-1042
e-ISSN
—
Svazek periodika
48
Číslo periodika v rámci svazku
5-7
Stát vydavatele periodika
DE - Spolková republika Německo
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
000258126900022
EID výsledku v databázi Scopus
—