Nanášení nanokrystalického a mikrokrystalického BaxSr1-xTiO3 pomocí pulsně modulované nízkotlaké plazmové trysky
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21340%2F06%3A04127240" target="_blank" >RIV/68407700:21340/06:04127240 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Deposition of Nanocrystalline and Microcrystalline BaxSr1-xTiO3 by Means of Pulse Modulated Low Pressure Plasma Jet
Popis výsledku v původním jazyce
RF plasma jet system was used for deposition of Bax Sr1-x TiO3 (BSTO) and SrTiO3 (STO) thin films. Optical emission spectroscopy was used for control of concentration of particles sputtered from the hollow cathode. Relation between ratio of spectral intensity of Ba, Ba+ , Sr and Sr+ lines and ratio of Ba and Sr concentration in the deposited film was found. Deposited thin films were analyzed by XRD, which confirmed presence of BSTO perovskite phase in the films. All prepared films with high enough Ba concentration (0.5 ≤ x ≤ 0.9) revealed good shaped dielectric hysteresis loops typical for ferroelectric phase.
Název v anglickém jazyce
Deposition of Nanocrystalline and Microcrystalline BaxSr1-xTiO3 by Means of Pulse Modulated Low Pressure Plasma Jet
Popis výsledku anglicky
RF plasma jet system was used for deposition of Bax Sr1-x TiO3 (BSTO) and SrTiO3 (STO) thin films. Optical emission spectroscopy was used for control of concentration of particles sputtered from the hollow cathode. Relation between ratio of spectral intensity of Ba, Ba+ , Sr and Sr+ lines and ratio of Ba and Sr concentration in the deposited film was found. Deposited thin films were analyzed by XRD, which confirmed presence of BSTO perovskite phase in the films. All prepared films with high enough Ba concentration (0.5 ≤ x ≤ 0.9) revealed good shaped dielectric hysteresis loops typical for ferroelectric phase.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2006
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Integrated Ferroelectrics
ISSN
1058-4587
e-ISSN
—
Svazek periodika
-
Číslo periodika v rámci svazku
81
Stát vydavatele periodika
NL - Nizozemsko
Počet stran výsledku
11
Strana od-do
227-237
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
—