RBS analýza iontů implantovaných do lehkých podložek vystavených horkému plazmatu, generovaném laserem PALS

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F05%3A00032159" target="_blank" >RIV/68378271:_____/05:00032159 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

RBS analysis of ions implanted in light substrates exposed to hot plasmas laser-generated at PALS

Popis výsledku v původním jazyce

Ge and Ta ion implantation into silicon and carbon substrates using plasma generated by third harmonic frequency of the iodine laser at PALS in Prague was performed. The RBS spectra shown depth profiles of ion implanted species and implanted doses as a function of the laser intensity, angular position and target distance from the plasma. Measurements of depth profiles indicated that ions with energy ranging from 100keV to 10MeV and doses of 1014-16/cm2 were implanted into different samples.

Název v anglickém jazyce

RBS analysis of ions implanted in light substrates exposed to hot plasmas laser-generated at PALS

Popis výsledku anglicky

Ge and Ta ion implantation into silicon and carbon substrates using plasma generated by third harmonic frequency of the iodine laser at PALS in Prague was performed. The RBS spectra shown depth profiles of ion implanted species and implanted doses as a function of the laser intensity, angular position and target distance from the plasma. Measurements of depth profiles indicated that ions with energy ranging from 100keV to 10MeV and doses of 1014-16/cm2 were implanted into different samples.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/LC528" target="_blank" >LC528: Centrum laserového plazmatu</a><br>

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2005

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Radiation Effects and Defects in Solids

ISSN

1042-0150

e-ISSN

—

Svazek periodika

160

Číslo periodika v rámci svazku

10-12

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

11

Strana od-do

685-695

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—