KrF laserová depozice kombinovaná s magnetronem pro růst TiC vrystev

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F06%3A00039940" target="_blank" >RIV/68378271:_____/06:00039940 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

KrF laser deposition combined with magnetron sputtering to grow titanium-carbide layers

Popis výsledku v původním jazyce

Titanium carbide films were grown using a magnetron assisted pulse laser deposition combining KrF pulsed laser deposition and DC magnetron sputtering (PLDMS). Plasma streams produced by magnetron and laser ablation were intersected on the substrate surface. Films properties were characterized by GDOES, AFM, XRD, XPS as well as by Raman spectroscopy. The adhesiojn and microhardness were also studied. Crystalline TiC films were fabricated at room temperature

Název v anglickém jazyce

KrF laser deposition combined with magnetron sputtering to grow titanium-carbide layers

Popis výsledku anglicky

Titanium carbide films were grown using a magnetron assisted pulse laser deposition combining KrF pulsed laser deposition and DC magnetron sputtering (PLDMS). Plasma streams produced by magnetron and laser ablation were intersected on the substrate surface. Films properties were characterized by GDOES, AFM, XRD, XPS as well as by Raman spectroscopy. The adhesiojn and microhardness were also studied. Crystalline TiC films were fabricated at room temperature

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2006

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Thin Solid Films

ISSN

0040-6090

e-ISSN

—

Svazek periodika

506-507

Číslo periodika v rámci svazku

-

Stát vydavatele periodika

CH - Švýcarská konfederace

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

101-105

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—