SiCx layers prepared by hybrid laser deposition and PLD
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F09%3A00335778" target="_blank" >RIV/68378271:_____/09:00335778 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/68407700:21460/09:00166868
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
SiCx layers prepared by hybrid laser deposition and PLD
Popis výsledku v původním jazyce
Thin SiCx films were fabricated using hybrid laser-magnetron deposition system and pulsed laser deposition (PLD). Film topology, crystallinity, composition and chemical bonds were studied.
Název v anglickém jazyce
SiCx layers prepared by hybrid laser deposition and PLD
Popis výsledku anglicky
Thin SiCx films were fabricated using hybrid laser-magnetron deposition system and pulsed laser deposition (PLD). Film topology, crystallinity, composition and chemical bonds were studied.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2009
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Plasma Processes and Polymers
ISSN
1612-8850
e-ISSN
—
Svazek periodika
6
Číslo periodika v rámci svazku
S1
Stát vydavatele periodika
DE - Spolková republika Německo
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
000272302900074
EID výsledku v databázi Scopus
—