Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F10%3A00342469" target="_blank" >RIV/68378271:_____/10:00342469 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure
Popis výsledku v původním jazyce
We investigated single shot damage of Mo/Si multilayer coatings exposed to the intense fs XUV radiation at the Free-electron LASer facility in Hamburg - FLASH. The interaction process was studied in situ by XUV reflectometry, time resolved optical microscopy, and "post-mortem" by interference-polarizing optical microscopy (with Nomarski contrast), atomic force microscopy, and scanning transmission electron microcopy. An ultrafast molybdenum silicide formation due to enhanced atomic diffusion in melted silicon has been determined to be the key process in the damage mechanism. The influence of the energy diffusion on the damage process was estimated. The results are of significance for the design of multilayer optics for a new generation of pulsed (fromatto- to nanosecond) XUV sources.
Název v anglickém jazyce
Single shot damage mechanism of Mo/Si multilayer optics under intense pulsed XUV-exposure
Popis výsledku anglicky
We investigated single shot damage of Mo/Si multilayer coatings exposed to the intense fs XUV radiation at the Free-electron LASer facility in Hamburg - FLASH. The interaction process was studied in situ by XUV reflectometry, time resolved optical microscopy, and "post-mortem" by interference-polarizing optical microscopy (with Nomarski contrast), atomic force microscopy, and scanning transmission electron microcopy. An ultrafast molybdenum silicide formation due to enhanced atomic diffusion in melted silicon has been determined to be the key process in the damage mechanism. The influence of the energy diffusion on the damage process was estimated. The results are of significance for the design of multilayer optics for a new generation of pulsed (fromatto- to nanosecond) XUV sources.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BH - Optika, masery a lasery
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2010
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Optics Express
ISSN
1094-4087
e-ISSN
—
Svazek periodika
18
Číslo periodika v rámci svazku
2
Stát vydavatele periodika
US - Spojené státy americké
Počet stran výsledku
13
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
000273860400032
EID výsledku v databázi Scopus
—