Novel concepts for low-pressure, low-temperature nanodiamond growth using MW linear antenna plasma sources

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F10%3A00342754" target="_blank" >RIV/68378271:_____/10:00342754 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Novel concepts for low-pressure, low-temperature nanodiamond growth using MW linear antenna plasma sources

Popis výsledku v původním jazyce

Industrial applications of PE MWCVD diamond grown on large area substrates, 3D shapes, at low substrate temperatures and on standard engineering substrate materials require novel plasma concepts. Based on the pioneering work of the group at AIST in Japan, highdensity coaxial delivery type of plasmas have been explored [1]. However, an important challenge is to obtain commercially interesting growth rates at very low substrate temperatures. In the presented work we introduce the concept of novel linear antenna sources, designed at Leybold Optics Dresden, using high-frequency pulsed MW discharge. We present data on high plasma densities in this type of discharge (> 10 E11 cm-3), accompanied by data from OES for CH4 ? CO2 - H2 gas chemistry and the basicproperties of the nano-crystalline diamond (NCD)films grown.

Název v anglickém jazyce

Novel concepts for low-pressure, low-temperature nanodiamond growth using MW linear antenna plasma sources

Popis výsledku anglicky

Industrial applications of PE MWCVD diamond grown on large area substrates, 3D shapes, at low substrate temperatures and on standard engineering substrate materials require novel plasma concepts. Based on the pioneering work of the group at AIST in Japan, highdensity coaxial delivery type of plasmas have been explored [1]. However, an important challenge is to obtain commercially interesting growth rates at very low substrate temperatures. In the presented work we introduce the concept of novel linear antenna sources, designed at Leybold Optics Dresden, using high-frequency pulsed MW discharge. We present data on high plasma densities in this type of discharge (> 10 E11 cm-3), accompanied by data from OES for CH4 ? CO2 - H2 gas chemistry and the basicproperties of the nano-crystalline diamond (NCD)films grown.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2010

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Diamond Electronics and Bioelectronics - Fundamentals to Applications III

ISBN

978-1-60511-176-6

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

—

Název nakladatele

Materials Research Society

Místo vydání

Warrendale, PA

Místo konání akce

Boston

Datum konání akce

26. 11. 2009

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—