Growth and characterization of nanodiamond layers prepared using plasma enhanced linear antennas microwave CVD system

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F10%3A00349454" target="_blank" >RIV/68378271:_____/10:00349454 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Growth and characterization of nanodiamond layers prepared using plasma enhanced linear antennas microwave CVD system

Popis výsledku v původním jazyce

Industrial applications of PE CVD diamond grown on large area substrates, 3D shapes, at low substrate temperatures and on standard engineering substrate materials require novel plasma concepts. Based on the pioneering work of the group at AIST in Japan,high-density coaxial delivery type of plasmas have been explored [1]. However, an important challenge is to obtain commercially interesting growth rates at very low substrate temperatures. In the presented work we introduce the concept of novel linear antenna sources, designed at Leybold Optics Dresden, using high-frequency pulsed MW discharge. We present data on high plasma densities in this type of discharge (> 1011 cm-3), accompanied by data from OES for CH4 ? CO2 - H2 gas chemistry and the basic properties of the nano-crystalline diamond (NCD) films grown.

Název v anglickém jazyce

Growth and characterization of nanodiamond layers prepared using plasma enhanced linear antennas microwave CVD system

Popis výsledku anglicky

Industrial applications of PE CVD diamond grown on large area substrates, 3D shapes, at low substrate temperatures and on standard engineering substrate materials require novel plasma concepts. Based on the pioneering work of the group at AIST in Japan,high-density coaxial delivery type of plasmas have been explored [1]. However, an important challenge is to obtain commercially interesting growth rates at very low substrate temperatures. In the presented work we introduce the concept of novel linear antenna sources, designed at Leybold Optics Dresden, using high-frequency pulsed MW discharge. We present data on high plasma densities in this type of discharge (> 1011 cm-3), accompanied by data from OES for CH4 ? CO2 - H2 gas chemistry and the basic properties of the nano-crystalline diamond (NCD) films grown.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2010

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Journal of Physics D-Applied Physics

ISSN

0022-3727

e-ISSN

—

Svazek periodika

43

Číslo periodika v rámci svazku

37

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

000281544100019

EID výsledku v databázi Scopus

—