From micro- to nanocrystalline diamond films
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F11%3A00390465" target="_blank" >RIV/68378271:_____/11:00390465 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
From micro- to nanocrystalline diamond films
Popis výsledku v původním jazyce
In this study we compare different methods to deposit nanocrystalline diamond (NCD) films with low surface roughness required for various applications. Bias enhanced re-nucleation, argon and CO2 addition, CH4/H2 ratio variation and the influence of the pressure are mentioned. For diamond films deposition three different systems were used: (i) double bias enhanced hot filament chemical vapour deposition (HFCVD), (ii) focused microwave plasma (FMWP) and (iii) pulsed linear antenna microwave plasma (PLAMWP) system. The grain size and surface morphology of samples were evaluated from SEM (Scanning Electron Microscopy) images. The processes, which take place during the diamond deposition, are discussed in the article.
Název v anglickém jazyce
From micro- to nanocrystalline diamond films
Popis výsledku anglicky
In this study we compare different methods to deposit nanocrystalline diamond (NCD) films with low surface roughness required for various applications. Bias enhanced re-nucleation, argon and CO2 addition, CH4/H2 ratio variation and the influence of the pressure are mentioned. For diamond films deposition three different systems were used: (i) double bias enhanced hot filament chemical vapour deposition (HFCVD), (ii) focused microwave plasma (FMWP) and (iii) pulsed linear antenna microwave plasma (PLAMWP) system. The grain size and surface morphology of samples were evaluated from SEM (Scanning Electron Microscopy) images. The processes, which take place during the diamond deposition, are discussed in the article.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2011
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Proceeding of School of Vacuum Technology - Vacuum and Advanced Materials
ISBN
978-80-969435-9-3
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
14-19
Název nakladatele
Slovenská vákuová spoločnosť
Místo vydání
Bratislava
Místo konání akce
Štrbské Pleso
Datum konání akce
8. 9. 2011
Typ akce podle státní příslušnosti
EUR - Evropská akce
Kód UT WoS článku
—