Large area growth of functional and electronic-grade diamond thin films - today's reality

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F12%3A00399675" target="_blank" >RIV/68378271:_____/12:00399675 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Large area growth of functional and electronic-grade diamond thin films - today's reality

Popis výsledku v původním jazyce

Diamond thin films were deposited in the linear antenna microwave plasma system. The micro- or nano-sized character of grown crystals was controlled by total gas pressure and CO2 content in the hydrogen rich gas mixture. Both these process parameters were shown as principal factors shifting the diamond growth either into re-nucleation or to crystal-enlargement mode. Thus the detailed study on total gas pressure influence onto growth kinetics and gas chemistry is presented.

Název v anglickém jazyce

Large area growth of functional and electronic-grade diamond thin films - today's reality

Popis výsledku anglicky

Diamond thin films were deposited in the linear antenna microwave plasma system. The micro- or nano-sized character of grown crystals was controlled by total gas pressure and CO2 content in the hydrogen rich gas mixture. Both these process parameters were shown as principal factors shifting the diamond growth either into re-nucleation or to crystal-enlargement mode. Thus the detailed study on total gas pressure influence onto growth kinetics and gas chemistry is presented.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2012

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Progresívne materiály a vákuum ( Progressive materials and vacuum)

ISBN

978-80-971179-0-0

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

11-14

Název nakladatele

Slovenská vakuová spolocnosť

Místo vydání

Bratislava

Místo konání akce

Štrbské pleso

Datum konání akce

8. 11. 2012

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—