Linear antenna microwave plasma CVD deposition of diamond films over large areas

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F12%3A00377789" target="_blank" >RIV/68378271:_____/12:00377789 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/68407700:21340/12:00200426

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2011.07.008" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2011.07.008</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2011.07.008" target="_blank" >10.1016/j.vacuum.2011.07.008</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Linear antenna microwave plasma CVD deposition of diamond films over large areas

Popis výsledku v původním jazyce

Diamond thin films were grown by linear antenna microwave plasma CVD process over large areas (up to 20 10 cm2) from a hydrogen based gas mixture. The influence of the gas coDmposition (H2, CH4, CO2) and total gas pressure (0.1 and 2 mbar) on the film growth is presented. For CH4/H2 gas mixtures, the surface crystal size does not show dependence on the methane concentration and total pressure and remains below 50 nm as observed by SEM. Adding CO2 (up to 10%) significantly improves the growth rate. However, still no significant change of morphology is observed on films grown at 2 mbar. The crucial improvement of the diamond film purity (as detected by Raman spectroscopy) and crystal size is found for deposition at 0.1 mbar. In this case, crystals are aslarge as 500 nm and the growth rate increases up to 38 nm/h.

Název v anglickém jazyce

Linear antenna microwave plasma CVD deposition of diamond films over large areas

Popis výsledku anglicky

Diamond thin films were grown by linear antenna microwave plasma CVD process over large areas (up to 20 10 cm2) from a hydrogen based gas mixture. The influence of the gas coDmposition (H2, CH4, CO2) and total gas pressure (0.1 and 2 mbar) on the film growth is presented. For CH4/H2 gas mixtures, the surface crystal size does not show dependence on the methane concentration and total pressure and remains below 50 nm as observed by SEM. Adding CO2 (up to 10%) significantly improves the growth rate. However, still no significant change of morphology is observed on films grown at 2 mbar. The crucial improvement of the diamond film purity (as detected by Raman spectroscopy) and crystal size is found for deposition at 0.1 mbar. In this case, crystals are aslarge as 500 nm and the growth rate increases up to 38 nm/h.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2012

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Vacuum

ISSN

0042-207X

e-ISSN

—

Svazek periodika

86

Číslo periodika v rámci svazku

6

Stát vydavatele periodika

GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

776-779

Kód UT WoS článku

000301018400048

EID výsledku v databázi Scopus

—