Influence of CO2 concentration on diamond film morphology in pulsed linear antenna microwave plasma CVD system

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F11%3A00375441" target="_blank" >RIV/68378271:_____/11:00375441 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Influence of CO2 concentration on diamond film morphology in pulsed linear antenna microwave plasma CVD system

Popis výsledku v původním jazyce

The diamond films were deposited in a pulsed linear antenna microwave plasma system. The influence of CO2 addition into the standard CH4/H2 gas mixture on the diamond film morphology was investigated. The concentration of CO2 varied from 0% up to 80% inCO2/CH4/H2 gas mixture. The film morphology, the growth rate and the ratio of sp3/sp2 carbon bonds were investigated. It was found that increasing of CO2 concentration resulted in enhanced growth rate (from 20 up to 36 nm/h). However, at very high CO2 concentrations (>40%) dominates etching instead of growth process. Moreover, we found that increasing of CO2 enhances the diamond film quality.

Název v anglickém jazyce

Influence of CO2 concentration on diamond film morphology in pulsed linear antenna microwave plasma CVD system

Popis výsledku anglicky

The diamond films were deposited in a pulsed linear antenna microwave plasma system. The influence of CO2 addition into the standard CH4/H2 gas mixture on the diamond film morphology was investigated. The concentration of CO2 varied from 0% up to 80% inCO2/CH4/H2 gas mixture. The film morphology, the growth rate and the ratio of sp3/sp2 carbon bonds were investigated. It was found that increasing of CO2 concentration resulted in enhanced growth rate (from 20 up to 36 nm/h). However, at very high CO2 concentrations (>40%) dominates etching instead of growth process. Moreover, we found that increasing of CO2 enhances the diamond film quality.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2011

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the 2nd Winter Education Seminar

ISBN

978-80-260-0911-5

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

33-37

Název nakladatele

FZÚ AV ČR

Místo vydání

Praha

Místo konání akce

Rokytnice n. J.

Datum konání akce

16. 2. 2011

Typ akce podle státní příslušnosti

CST - Celostátní akce

Kód UT WoS článku

—