Investigation of ionized metal flux fraction in HiPIMS discharges with Ti and Ni targets
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F14%3A00427184" target="_blank" >RIV/68378271:_____/14:00427184 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2013.10.064" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2013.10.064</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.surfcoat.2013.10.064" target="_blank" >10.1016/j.surfcoat.2013.10.064</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Investigation of ionized metal flux fraction in HiPIMS discharges with Ti and Ni targets
Popis výsledku v původním jazyce
Ionized metal flux fractions in high power impulsemagnetron sputtering (HiPIMS) were analyzed by a combination of a retarding field analyzer and a quartz crystal microbalance (QCM). Two target materials, Ni and Ti, were studied in an Ar atmosphere. In the case of Ti, the reactive (Ar + O2) mode was also investigated. Ionized metal flux fractions of up to 50% for Ni were observed at a pulse power density of 1 kW cm2.
Název v anglickém jazyce
Investigation of ionized metal flux fraction in HiPIMS discharges with Ti and Ni targets
Popis výsledku anglicky
Ionized metal flux fractions in high power impulsemagnetron sputtering (HiPIMS) were analyzed by a combination of a retarding field analyzer and a quartz crystal microbalance (QCM). Two target materials, Ni and Ti, were studied in an Ar atmosphere. In the case of Ti, the reactive (Ar + O2) mode was also investigated. Ionized metal flux fractions of up to 50% for Ni were observed at a pulse power density of 1 kW cm2.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2014
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Surface and Coatings Technology
ISSN
0257-8972
e-ISSN
—
Svazek periodika
238
Číslo periodika v rámci svazku
JAN
Stát vydavatele periodika
CH - Švýcarská konfederace
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
152-157
Kód UT WoS článku
000331028200018
EID výsledku v databázi Scopus
—