Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Simultaneous determination of the elastic modulus and density/thickness of ultrathin films utilizing micro-/nanoresonators under applied axial force

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F14%3A00431785" target="_blank" >RIV/68378271:_____/14:00431785 - isvavai.cz</a>

  • Nalezeny alternativní kódy

    RIV/61388998:_____/14:00431785

  • Výsledek na webu

    <a href="http://dx.doi.org/10.1063/1.4869415" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1063/1.4869415</a>

  • DOI - Digital Object Identifier

    <a href="http://dx.doi.org/10.1063/1.4869415" target="_blank" >10.1063/1.4869415</a>

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    Simultaneous determination of the elastic modulus and density/thickness of ultrathin films utilizing micro-/nanoresonators under applied axial force

  • Popis výsledku v původním jazyce

    Thin films are widely used in microelectronics, optics, filters, and various sensing devices. We propose a method to simultaneously determine the elastic modulus and density or thickness of ultrathin films deposited on various substrate materials. This methodology utilizes measurement of the resonant frequencies of the micro-/nanoresonator under intentionally applied axial tension and, consequently, the beam to string transition. Elastic modulus and density/thickness of thin film are obtained from the ratio between the resonant frequencies of the nanoresonator with and without applied axial force.

  • Název v anglickém jazyce

    Simultaneous determination of the elastic modulus and density/thickness of ultrathin films utilizing micro-/nanoresonators under applied axial force

  • Popis výsledku anglicky

    Thin films are widely used in microelectronics, optics, filters, and various sensing devices. We propose a method to simultaneously determine the elastic modulus and density or thickness of ultrathin films deposited on various substrate materials. This methodology utilizes measurement of the resonant frequencies of the micro-/nanoresonator under intentionally applied axial tension and, consequently, the beam to string transition. Elastic modulus and density/thickness of thin film are obtained from the ratio between the resonant frequencies of the nanoresonator with and without applied axial force.

Klasifikace

  • Druh

    J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

  • CEP obor

    BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

  • Návaznosti

    I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2014

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název periodika

    Journal of Applied Physics

  • ISSN

    0021-8979

  • e-ISSN

  • Svazek periodika

    115

  • Číslo periodika v rámci svazku

    12

  • Stát vydavatele periodika

    US - Spojené státy americké

  • Počet stran výsledku

    6

  • Strana od-do

    "124304-1"-"124304-6"

  • Kód UT WoS článku

    000333901100070

  • EID výsledku v databázi Scopus