Simultaneous determination of the elastic modulus and density/thickness of ultrathin films utilizing micro-/nanoresonators under applied axial force

Kód výsledku v IS VaVaI

RIV/68378271:_____/14:00431785 - isvavai.cz

Nalezeny alternativní kódy

RIV/61388998:_____/14:00431785

Výsledek na webu

http://dx.doi.org/10.1063/1.4869415

DOI - Digital Object Identifier

10.1063/1.4869415

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Simultaneous determination of the elastic modulus and density/thickness of ultrathin films utilizing micro-/nanoresonators under applied axial force

Popis výsledku v původním jazyce

Thin films are widely used in microelectronics, optics, filters, and various sensing devices. We propose a method to simultaneously determine the elastic modulus and density or thickness of ultrathin films deposited on various substrate materials. This methodology utilizes measurement of the resonant frequencies of the micro-/nanoresonator under intentionally applied axial tension and, consequently, the beam to string transition. Elastic modulus and density/thickness of thin film are obtained from the ratio between the resonant frequencies of the nanoresonator with and without applied axial force.

Název v anglickém jazyce

Simultaneous determination of the elastic modulus and density/thickness of ultrathin films utilizing micro-/nanoresonators under applied axial force

Popis výsledku anglicky

Thin films are widely used in microelectronics, optics, filters, and various sensing devices. We propose a method to simultaneously determine the elastic modulus and density or thickness of ultrathin films deposited on various substrate materials. This methodology utilizes measurement of the resonant frequencies of the micro-/nanoresonator under intentionally applied axial tension and, consequently, the beam to string transition. Elastic modulus and density/thickness of thin film are obtained from the ratio between the resonant frequencies of the nanoresonator with and without applied axial force.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2014

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Journal of Applied Physics

ISSN

0021-8979

e-ISSN

—

Svazek periodika

115

Číslo periodika v rámci svazku

12

Stát vydavatele periodika

US - Spojené státy americké

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

"124304-1"-"124304-6"

Kód UT WoS článku

000333901100070

EID výsledku v databázi Scopus

—