Simultaneous determination of the elastic modulus and density/thickness of ultrathin films utilizing micro-/nanoresonators under applied axial force
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F14%3A00431785" target="_blank" >RIV/68378271:_____/14:00431785 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/61388998:_____/14:00431785
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1063/1.4869415" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1063/1.4869415</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1063/1.4869415" target="_blank" >10.1063/1.4869415</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Simultaneous determination of the elastic modulus and density/thickness of ultrathin films utilizing micro-/nanoresonators under applied axial force
Popis výsledku v původním jazyce
Thin films are widely used in microelectronics, optics, filters, and various sensing devices. We propose a method to simultaneously determine the elastic modulus and density or thickness of ultrathin films deposited on various substrate materials. This methodology utilizes measurement of the resonant frequencies of the micro-/nanoresonator under intentionally applied axial tension and, consequently, the beam to string transition. Elastic modulus and density/thickness of thin film are obtained from the ratio between the resonant frequencies of the nanoresonator with and without applied axial force.
Název v anglickém jazyce
Simultaneous determination of the elastic modulus and density/thickness of ultrathin films utilizing micro-/nanoresonators under applied axial force
Popis výsledku anglicky
Thin films are widely used in microelectronics, optics, filters, and various sensing devices. We propose a method to simultaneously determine the elastic modulus and density or thickness of ultrathin films deposited on various substrate materials. This methodology utilizes measurement of the resonant frequencies of the micro-/nanoresonator under intentionally applied axial tension and, consequently, the beam to string transition. Elastic modulus and density/thickness of thin film are obtained from the ratio between the resonant frequencies of the nanoresonator with and without applied axial force.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2014
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Journal of Applied Physics
ISSN
0021-8979
e-ISSN
—
Svazek periodika
115
Číslo periodika v rámci svazku
12
Stát vydavatele periodika
US - Spojené státy americké
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
"124304-1"-"124304-6"
Kód UT WoS článku
000333901100070
EID výsledku v databázi Scopus
—