Active frequency tuning of the cantilever nanoresonator utilizing a phase transformation of NiTi thin film

Kód výsledku v IS VaVaI

RIV/68378271:_____/17:00483366 - isvavai.cz

Výsledek na webu

http://dx.doi.org/10.21595/jve.2017.18887

DOI - Digital Object Identifier

10.21595/jve.2017.18887

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Active frequency tuning of the cantilever nanoresonator utilizing a phase transformation of NiTi thin film

Popis výsledku v původním jazyce

Due to their small sizes, compactness, low cost, high sensitivity, high resolution and extraordinary physical properties, nanoresonators have attracted a widespread attention from the scientific community. It is required that the nanoresonators can operate at desired but adjustable resonant frequencies. In this work, we present a novel active frequency tuning method utilizing a large change of the Young's modulus (more than 50 %) and generated interlayer stress (up a few hundred of MPa) during a phase transformation of NiTi thin film deposited on an elastic substrate. We show that this tuning mechanism can allow one to achieve the extraordinary high fundamental resonant frequency tunability (~30 %). The impact of NiTi film thickness and dimensions on the first three consecutive resonant frequencies of the cantilever nanobeam is examined.

Název v anglickém jazyce

Active frequency tuning of the cantilever nanoresonator utilizing a phase transformation of NiTi thin film

Popis výsledku anglicky

Due to their small sizes, compactness, low cost, high sensitivity, high resolution and extraordinary physical properties, nanoresonators have attracted a widespread attention from the scientific community. It is required that the nanoresonators can operate at desired but adjustable resonant frequencies. In this work, we present a novel active frequency tuning method utilizing a large change of the Young's modulus (more than 50 %) and generated interlayer stress (up a few hundred of MPa) during a phase transformation of NiTi thin film deposited on an elastic substrate. We show that this tuning mechanism can allow one to achieve the extraordinary high fundamental resonant frequency tunability (~30 %). The impact of NiTi film thickness and dimensions on the first three consecutive resonant frequencies of the cantilever nanobeam is examined.

Druh

J_imp - Článek v periodiku v databázi Web of Science

CEP obor

—

OECD FORD obor

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)

Projekt

GC15-13174J: Mikromechanické resonátory s účelově měnitelnými fyzikálními a mechanickými vlastnostmi použitelné pro různé biomateriálni a fyzikální snímače

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2017

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Journal of Vibroengineering

ISSN

1392-8716

e-ISSN

—

Svazek periodika

19

Číslo periodika v rámci svazku

7

Stát vydavatele periodika

LT - Litevská republika

Počet stran výsledku

9

Strana od-do

5161-5169

Kód UT WoS článku

000419833500025

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-85034783418