Structural, optical and mechanical properties of thin diamond and silicon carbide layers grown by low pressure microwave linear antenna plasma enhanced chemical vapour deposition

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F16%3A00464041" target="_blank" >RIV/68378271:_____/16:00464041 - isvavai.cz</a>

Nalezeny alternativní kódy

RIV/61388955:_____/16:00464041 RIV/68407700:21460/16:00306424 RIV/00216275:25310/16:39901364

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.diamond.2016.06.014" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1016/j.diamond.2016.06.014</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.diamond.2016.06.014" target="_blank" >10.1016/j.diamond.2016.06.014</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Structural, optical and mechanical properties of thin diamond and silicon carbide layers grown by low pressure microwave linear antenna plasma enhanced chemical vapour deposition

Popis výsledku v původním jazyce

In thiswork,we detail the properties of thin silicon carbide and polycrystalline diamond layers grown by microwave plasma enhanced chemical vapour depositionwith linear antenna delivery. Structural, mechanical and optical properties are compared for their potential use as transparent hard coatings. Silicon carbide layers exhibit mechanical properties comparable to thin diamond layers butwith a significantly higher adhesion and lower optical absorption coefficient over a wide spectral range.

Název v anglickém jazyce

Structural, optical and mechanical properties of thin diamond and silicon carbide layers grown by low pressure microwave linear antenna plasma enhanced chemical vapour deposition

Popis výsledku anglicky

In thiswork,we detail the properties of thin silicon carbide and polycrystalline diamond layers grown by microwave plasma enhanced chemical vapour depositionwith linear antenna delivery. Structural, mechanical and optical properties are compared for their potential use as transparent hard coatings. Silicon carbide layers exhibit mechanical properties comparable to thin diamond layers butwith a significantly higher adhesion and lower optical absorption coefficient over a wide spectral range.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2016

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Diamond and Related Materials

ISSN

0925-9635

e-ISSN

—

Svazek periodika

69

Číslo periodika v rámci svazku

Oct

Stát vydavatele periodika

CH - Švýcarská konfederace

Počet stran výsledku

6

Strana od-do

13-18

Kód UT WoS článku

000385602000003

EID výsledku v databázi Scopus

2-s2.0-84978792930