SIMS studies of MOVPE GaN/InGaN scintilator nano-structures

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F19%3A00539244" target="_blank" >RIV/68378271:_____/19:00539244 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

SIMS studies of MOVPE GaN/InGaN scintilator nano-structures

Popis výsledku v původním jazyce

Secondary ion mass spectrometry (SIMS) analysis is a powerful tool for determination material composition and impurity concentration at different parts of structure with a several nm resolution and down to 10E16 cm-3 for many elements. We can estimate the thickness of nanostructure layer and exactly measure their periodicity. Optimization of the SIMS technique can improve our results. Measuring the impurity concentration profiles close to surface, we can estimate surface roughness, in our case the V-pits depth. We can measure impurity concentration profiles with high accuracy.

Název v anglickém jazyce

SIMS studies of MOVPE GaN/InGaN scintilator nano-structures

Popis výsledku anglicky

Secondary ion mass spectrometry (SIMS) analysis is a powerful tool for determination material composition and impurity concentration at different parts of structure with a several nm resolution and down to 10E16 cm-3 for many elements. We can estimate the thickness of nanostructure layer and exactly measure their periodicity. Optimization of the SIMS technique can improve our results. Measuring the impurity concentration profiles close to surface, we can estimate surface roughness, in our case the V-pits depth. We can measure impurity concentration profiles with high accuracy.

Druh

O - Ostatní výsledky

CEP obor

—

OECD FORD obor

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2019

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů