Time-resolved Langmuir probe diagnostics of a bipolar high power impulse magnetron sputtering discharge
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F20%3A00533967" target="_blank" >RIV/68378271:_____/20:00533967 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="https://doi.org/10.1063/1.5140650" target="_blank" >https://doi.org/10.1063/1.5140650</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1063/1.5140650" target="_blank" >10.1063/1.5140650</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Time-resolved Langmuir probe diagnostics of a bipolar high power impulse magnetron sputtering discharge
Popis výsledku v původním jazyce
High power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) of a cobalt cathode in argon gas was investigated by time-resolved electrical (Langmuir) probe diagnostics and by time-integrated energy-resolved mass spectrometry. The HiPIMS discharge was operated with a bipolar pulsed power supply.
Název v anglickém jazyce
Time-resolved Langmuir probe diagnostics of a bipolar high power impulse magnetron sputtering discharge
Popis výsledku anglicky
High power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) of a cobalt cathode in argon gas was investigated by time-resolved electrical (Langmuir) probe diagnostics and by time-integrated energy-resolved mass spectrometry. The HiPIMS discharge was operated with a bipolar pulsed power supply.
Klasifikace
Druh
J<sub>imp</sub> - Článek v periodiku v databázi Web of Science
CEP obor
—
OECD FORD obor
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2020
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Applied Physics Letters
ISSN
0003-6951
e-ISSN
—
Svazek periodika
116
Číslo periodika v rámci svazku
6
Stát vydavatele periodika
US - Spojené státy americké
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
1-4
Kód UT WoS článku
000538749400001
EID výsledku v databázi Scopus
2-s2.0-85079530666