Fabrication of diamond membranes by femtosecond laser ablation for MEMS sensor applications

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F20%3A00540754" target="_blank" >RIV/68378271:_____/20:00540754 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://dx.doi.org/10.3390/proceedings2020056013" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.3390/proceedings2020056013</a>

DOI - Digital Object Identifier

<a href="http://dx.doi.org/10.3390/proceedings2020056013" target="_blank" >10.3390/proceedings2020056013</a>

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Fabrication of diamond membranes by femtosecond laser ablation for MEMS sensor applications

Popis výsledku v původním jazyce

We present the feasibility to fabricate membranes and cantilevers made of diamond grown on Si/SiO2 substrates by femtosecond laser ablation. In the ablation process, we generated nano‐ and microstructures on the membrane surface. Such laser induced periodic surface structures (LIPSS) are useful in tailoring the surface chemistry. In combination with wet‐ or reactive ion etching smooth membranes were generated.

Název v anglickém jazyce

Fabrication of diamond membranes by femtosecond laser ablation for MEMS sensor applications

Popis výsledku anglicky

We present the feasibility to fabricate membranes and cantilevers made of diamond grown on Si/SiO2 substrates by femtosecond laser ablation. In the ablation process, we generated nano‐ and microstructures on the membrane surface. Such laser induced periodic surface structures (LIPSS) are useful in tailoring the surface chemistry. In combination with wet‐ or reactive ion etching smooth membranes were generated.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

—

OECD FORD obor

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)

Projekt

<a href="/cs/project/8X20035" target="_blank" >8X20035: Pokročilé mikronosníkové prvky z širokopásmových polovodičových materiálů</a><br>

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2020

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of 4th International Conference nanoFIS 2020 - Functional Integrated nanoSystems

ISBN

—

ISSN

2504-3900

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

3

Strana od-do

1-3

Název nakladatele

MDPI

Místo vydání

Basel

Místo konání akce

Online

Datum konání akce

2. 11. 2020

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

—