In situ optical and electrical analysis of transient plasmas generated by ns-laser ablation for Ag nanostructured film production
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F21%3A00546676" target="_blank" >RIV/68378271:_____/21:00546676 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2021.110528" target="_blank" >https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2021.110528</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.vacuum.2021.110528" target="_blank" >10.1016/j.vacuum.2021.110528</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
In situ optical and electrical analysis of transient plasmas generated by ns-laser ablation for Ag nanostructured film production
Popis výsledku v původním jazyce
The continuous effort for transitioning pulsed laser deposition (PLD) technique from an experimental tool into an industrial one can be sustained by the use of complex tools for in situ real-time monitoring of the deposition process. Langmuir Probe (LP) and optical emission spectroscopy (OES) measurements were used for plasma monitoring during PLD of silver films under various Ar pressure conditions. The LP measurements revealed a multi-structured distribution of the ions, which was strongly influenced by the increase of Ar pressure.
Název v anglickém jazyce
In situ optical and electrical analysis of transient plasmas generated by ns-laser ablation for Ag nanostructured film production
Popis výsledku anglicky
The continuous effort for transitioning pulsed laser deposition (PLD) technique from an experimental tool into an industrial one can be sustained by the use of complex tools for in situ real-time monitoring of the deposition process. Langmuir Probe (LP) and optical emission spectroscopy (OES) measurements were used for plasma monitoring during PLD of silver films under various Ar pressure conditions. The LP measurements revealed a multi-structured distribution of the ions, which was strongly influenced by the increase of Ar pressure.
Klasifikace
Druh
J<sub>imp</sub> - Článek v periodiku v databázi Web of Science
CEP obor
—
OECD FORD obor
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2021
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Vacuum
ISSN
0042-207X
e-ISSN
1879-2715
Svazek periodika
193
Číslo periodika v rámci svazku
Nov.
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
10
Strana od-do
110528
Kód UT WoS článku
000702522400003
EID výsledku v databázi Scopus
2-s2.0-85112483940