Highly phosphorus-doped polycrystalline diamond growth and properties
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F22%3A00556566" target="_blank" >RIV/68378271:_____/22:00556566 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/68407700:21230/22:00356601 RIV/68407700:21460/22:00356601
Výsledek na webu
<a href="https://doi.org/10.1016/j.diamond.2022.108964" target="_blank" >https://doi.org/10.1016/j.diamond.2022.108964</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1016/j.diamond.2022.108964" target="_blank" >10.1016/j.diamond.2022.108964</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Highly phosphorus-doped polycrystalline diamond growth and properties
Popis výsledku v původním jazyce
In this work, phosphorus-doped polycrystalline diamond layers were grown using a new gas control process to increase the incorporation of phosphorus in diamond. Topographical characteristics and crystalline quality of the phosphorus-doped polycrystalline diamond layers grown on Si substrates were analyzed using Scanning Electron Microscopy (SEM) and Raman spectroscopy. The phosphorus concentration was determined using Glow-Discharge Optical Emission Spectroscopy (GDOES). Polycrystalline diamond layers have a good crystalline quality with a sp3/sp2 carbon ration over 75%. The growth rate reaches up to 440 nm∙h−1, and the phosphorus concentration is well above 1020 cm−3.
Název v anglickém jazyce
Highly phosphorus-doped polycrystalline diamond growth and properties
Popis výsledku anglicky
In this work, phosphorus-doped polycrystalline diamond layers were grown using a new gas control process to increase the incorporation of phosphorus in diamond. Topographical characteristics and crystalline quality of the phosphorus-doped polycrystalline diamond layers grown on Si substrates were analyzed using Scanning Electron Microscopy (SEM) and Raman spectroscopy. The phosphorus concentration was determined using Glow-Discharge Optical Emission Spectroscopy (GDOES). Polycrystalline diamond layers have a good crystalline quality with a sp3/sp2 carbon ration over 75%. The growth rate reaches up to 440 nm∙h−1, and the phosphorus concentration is well above 1020 cm−3.
Klasifikace
Druh
J<sub>imp</sub> - Článek v periodiku v databázi Web of Science
CEP obor
—
OECD FORD obor
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/GA21-03538S" target="_blank" >GA21-03538S: Nové perspektivy v syntéze dopovaného diamantu v mikrovlnné plazmě</a><br>
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2022
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Diamond and Related Materials
ISSN
0925-9635
e-ISSN
1879-0062
Svazek periodika
125
Číslo periodika v rámci svazku
May
Stát vydavatele periodika
CH - Švýcarská konfederace
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
108964
Kód UT WoS článku
000790962500005
EID výsledku v databázi Scopus
2-s2.0-85126623362