Effect of plasma composition on nanocrystalline diamond layers deposited by a microwave linear antenna plasma-enhanced chemical vapour deposition system
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F61388955%3A_____%2F15%3A00454568" target="_blank" >RIV/61388955:_____/15:00454568 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/68378271:_____/15:00454568 RIV/68407700:21460/15:00237819 RIV/00216275:25310/15:39899561
Výsledek na webu
<a href="http://dx.doi.org/10.1002/pssa.201532183" target="_blank" >http://dx.doi.org/10.1002/pssa.201532183</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.1002/pssa.201532183" target="_blank" >10.1002/pssa.201532183</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Effect of plasma composition on nanocrystalline diamond layers deposited by a microwave linear antenna plasma-enhanced chemical vapour deposition system
Popis výsledku v původním jazyce
The addition of CO2 into the process gas has a significant impact on the quality and the incorporation of boron in CVD diamond layers. In this report we study the effect of CO2 addition in the gas phase on the properties of boron doped nano-crystalline diamond (BNCD) layers grown at low substrate temperatures (450–500 °C) using a microwave linear antenna plasma-enhanced chemical vapour deposition apparatus (MW-LA-PECVD). Experimental results show an increase in the layers' conductivity with a reduction in CO2 concentration, which is consistent with the variation in the atomic boron emission line intensity measured by optical emission spectroscopy (OES). At CO2 concentrations close to zero, we observed the formation of a smooth, transparent and highly resistive layer on unseeded substrates.
Název v anglickém jazyce
Effect of plasma composition on nanocrystalline diamond layers deposited by a microwave linear antenna plasma-enhanced chemical vapour deposition system
Popis výsledku anglicky
The addition of CO2 into the process gas has a significant impact on the quality and the incorporation of boron in CVD diamond layers. In this report we study the effect of CO2 addition in the gas phase on the properties of boron doped nano-crystalline diamond (BNCD) layers grown at low substrate temperatures (450–500 °C) using a microwave linear antenna plasma-enhanced chemical vapour deposition apparatus (MW-LA-PECVD). Experimental results show an increase in the layers' conductivity with a reduction in CO2 concentration, which is consistent with the variation in the atomic boron emission line intensity measured by optical emission spectroscopy (OES). At CO2 concentrations close to zero, we observed the formation of a smooth, transparent and highly resistive layer on unseeded substrates.
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BM - Fyzika pevných látek a magnetismus
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.
Návaznosti
I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2015
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Physica Status Solidi. A
ISSN
1862-6300
e-ISSN
—
Svazek periodika
212
Číslo periodika v rámci svazku
11
Stát vydavatele periodika
DE - Spolková republika Německo
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
2418-2423
Kód UT WoS článku
000366588100006
EID výsledku v databázi Scopus
2-s2.0-84934342494