Influence of gas composition on growth of boron-doped diamond films

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F23%3A00575391" target="_blank" >RIV/68378271:_____/23:00575391 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Influence of gas composition on growth of boron-doped diamond films

Popis výsledku v původním jazyce

Boron-doped diamond films (BDD) have recently attracted interest in many areas of R&D. In this contribution, we present the influence of gas composition on the crystal evolution of BDD films grown in a focused microwave plasma system. BDD films with a constant B/C ratio (2000 ppm) were successfully grown over a wide range of CH4 concentrations from 1.5 to 18 %. BDD kept its microcrystalline character up to a CH4 content as high as 9 %. The microcrystalline morphology changed to nanocrystalline at CH4 concentrations from 12 to 15 %. Finally, higher CH4 content than >15 % led to needle-like BDD. The effect of the gas mixture on the BDD film properties is discussed in terms of surface morphology (scanning electron microscopy, SEM), chemical composition (Raman spectroscopy), electrical conductivity (Hall and four-point measurement), and growth rate.

Název v anglickém jazyce

Influence of gas composition on growth of boron-doped diamond films

Popis výsledku anglicky

Boron-doped diamond films (BDD) have recently attracted interest in many areas of R&D. In this contribution, we present the influence of gas composition on the crystal evolution of BDD films grown in a focused microwave plasma system. BDD films with a constant B/C ratio (2000 ppm) were successfully grown over a wide range of CH4 concentrations from 1.5 to 18 %. BDD kept its microcrystalline character up to a CH4 content as high as 9 %. The microcrystalline morphology changed to nanocrystalline at CH4 concentrations from 12 to 15 %. Finally, higher CH4 content than >15 % led to needle-like BDD. The effect of the gas mixture on the BDD film properties is discussed in terms of surface morphology (scanning electron microscopy, SEM), chemical composition (Raman spectroscopy), electrical conductivity (Hall and four-point measurement), and growth rate.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

—

OECD FORD obor

20506 - Coating and films

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace

Rok uplatnění

2023

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of ADEPT - ADEPT 2023

ISBN

978-80-554-1977-0

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

5

Strana od-do

225-229

Název nakladatele

University of Žilina

Místo vydání

Žilina

Místo konání akce

Podbanské

Datum konání akce

12. 6. 2023

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—