Způsob vytváření pulzního magnetronového výboje společně s obloukovým odpařováním
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F23%3A00580734" target="_blank" >RIV/68378271:_____/23:00580734 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="https://isdv.upv.gov.cz/doc/FullFiles/Patents/FullDocuments/309/309606.pdf" target="_blank" >https://isdv.upv.gov.cz/doc/FullFiles/Patents/FullDocuments/309/309606.pdf</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
čeština
Název v původním jazyce
Způsob vytváření pulzního magnetronového výboje společně s obloukovým odpařováním
Popis výsledku v původním jazyce
Předkládaný vynález se týká způsobu a zařízení pro vytváření pulzního magnetronového výboje společně s obloukovým odpařováním ve vakuové komoře a zařízení pro povlakování využívající výše uvedeného pulzního magnetronového výboje s obloukovým odpařováním. Způsob obsahuje kroky vytvoření pulzně buzeného magnetronového výboje první pulzní napěťovou jednotkou a zapálení katodového vakuového oblouku druhou pulzní jednotkou vytvářející inicializační pulz, přičemž první a druhá pulzní jednotka jsou paralelně spojené, a způsob dále spočívá v tom, že zapálení katodového vakuového oblouku probíhá během pulzního magnetronového výboje první pulzní napěťové jednotce, a že se slučují napěťové pulzy generované pomocí pulzních napěťových jednotek a v modulu přenášející pulzní výboj na magnetronovou katodu.
Název v anglickém jazyce
A method of creating a pulsed magnetron discharge together with arc evaporation
Popis výsledku anglicky
The invention is a method and apparatus for creating a pulsed magnetron discharge together with arc evaporation in a vacuum chamber and a coating device using this pulsed magnetron discharge with arc evaporation. The method comprises the steps of generating a pulsed magnetron discharge by the first pulsed voltage unit and igniting the cathode vacuum arc by the second pulsed unit producing an initialization pulse, the first and second pulsed units are connected in parallel, and the method further comprises in that the cathode vacuum arc is ignited during the pulsed magnetron discharge of the first pulsed voltage unit, and that the voltage pulses generated by the pulse voltage units and in the module transmitting the pulse discharge to the magnetron cathode are combined.
Klasifikace
Druh
P - Patent
CEP obor
—
OECD FORD obor
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/FV30177" target="_blank" >FV30177: Výzkum a vývoj nových pulzních plazmových technologií pro depozici pokročilých tenkovrstvých materiálů</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2023
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Číslo patentu nebo vzoru
309606
Vydavatel
CZ001 -
Název vydavatele
Industrial Property Office
Místo vydání
Prague
Stát vydání
CZ - Česká republika
Datum přijetí
29. 3. 2023
Název vlastníka
Fyzikální ústav AV ČR, v. v. i.,HVM Plasma spol. s r.o.
Způsob využití
A - Výsledek využívá pouze poskytovatel
Druh možnosti využití
A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence