Vše

Co hledáte?

Vše
Projekty
Výsledky výzkumu
Subjekty

Rychlé hledání

  • Projekty podpořené TA ČR
  • Významné projekty
  • Projekty s nejvyšší státní podporou
  • Aktuálně běžící projekty

Chytré vyhledávání

  • Takto najdu konkrétní +slovo
  • Takto z výsledků -slovo zcela vynechám
  • “Takto můžu najít celou frázi”

Structuring of diamond films using microsphere lithography

Identifikátory výsledku

  • Kód výsledku v IS VaVaI

    <a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21110%2F14%3A00223276" target="_blank" >RIV/68407700:21110/14:00223276 - isvavai.cz</a>

  • Nalezeny alternativní kódy

    RIV/68378271:_____/14:00440224 RIV/68407700:21340/14:00223276

  • Výsledek na webu

    <a href="https://ojs.cvut.cz/ojs/index.php/ap/article/view/AP.2014.54.0320/2175" target="_blank" >https://ojs.cvut.cz/ojs/index.php/ap/article/view/AP.2014.54.0320/2175</a>

  • DOI - Digital Object Identifier

    <a href="http://dx.doi.org/10.14311/AP.2014.54.0320" target="_blank" >10.14311/AP.2014.54.0320</a>

Alternativní jazyky

  • Jazyk výsledku

    angličtina

  • Název v původním jazyce

    Structuring of diamond films using microsphere lithography

  • Popis výsledku v původním jazyce

    In this study, the structuring of micro-and nanocrystalline diamond thin films is demonstrated. The diamond films are structured using the technique of microsphere lithography followed by reactive ion etching. Specifically, this paper presents a four-step fabrication process: diamond deposition (microwave plasma assisted chemical vapor deposition), mask preparation (by the standard Langmuir-Blodgett method), mask modification and diamond etching. A self-assembled monolayer of monodisperse polystyrene (PS) microspheres with close-packed ordering is used as the primary template. Then the PS microspheres and the diamond films are processed in capacitively coupled radiofrequency plasma using various plasma chemistries. This fabrication method illustrates the preparation of large arrays of periodic and homogeneous hillock-like structures. The surface morphology of the processed diamond films is characterized by scanning electron microscopy and with the use of an atomic force microscope. The

  • Název v anglickém jazyce

    Structuring of diamond films using microsphere lithography

  • Popis výsledku anglicky

    In this study, the structuring of micro-and nanocrystalline diamond thin films is demonstrated. The diamond films are structured using the technique of microsphere lithography followed by reactive ion etching. Specifically, this paper presents a four-step fabrication process: diamond deposition (microwave plasma assisted chemical vapor deposition), mask preparation (by the standard Langmuir-Blodgett method), mask modification and diamond etching. A self-assembled monolayer of monodisperse polystyrene (PS) microspheres with close-packed ordering is used as the primary template. Then the PS microspheres and the diamond films are processed in capacitively coupled radiofrequency plasma using various plasma chemistries. This fabrication method illustrates the preparation of large arrays of periodic and homogeneous hillock-like structures. The surface morphology of the processed diamond films is characterized by scanning electron microscopy and with the use of an atomic force microscope. The

Klasifikace

  • Druh

    J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

  • CEP obor

    BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

  • OECD FORD obor

Návaznosti výsledku

  • Projekt

    <a href="/cs/project/GBP108%2F12%2FG108" target="_blank" >GBP108/12/G108: Příprava, modifikace a charakterizace materiálů zářením</a><br>

  • Návaznosti

    S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Ostatní

  • Rok uplatnění

    2014

  • Kód důvěrnosti údajů

    S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Údaje specifické pro druh výsledku

  • Název periodika

    Acta Polytechnica

  • ISSN

    1210-2709

  • e-ISSN

  • Svazek periodika

    54

  • Číslo periodika v rámci svazku

    5

  • Stát vydavatele periodika

    CZ - Česká republika

  • Počet stran výsledku

    5

  • Strana od-do

    320-324

  • Kód UT WoS článku

  • EID výsledku v databázi Scopus