Manipulátor pro iontovou implantaci do substrátů ve vertikální poloze

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21220%2F08%3A00160429" target="_blank" >RIV/68407700:21220/08:00160429 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Manipulátor pro iontovou implantaci do substrátů ve vertikální poloze

Popis výsledku v původním jazyce

Manipulátor pro iontovou implantaci do substrátů ve vertikální poloze byl vyvinut a zkonstruován pro homogenní iontovou implantaci v geometrickém uspořádání zabezpečujícím kolmý dopad iontového svazku na rovinnou plochu substrátu. V tomto uspořádání se dosahuje největšího doletu iontů v substrátu a minimální iontové rozpašování. Homogenní iontová implantace je dosahována rotací substrátu, která je zajištěna příslušným převodním mechanismem.

Název v anglickém jazyce

Manipulator for ion implantation into substrates in vertical position

Popis výsledku anglicky

Manipulator for ion implantation into substrates in vertical position was developped and constructed for homogenous ion implantation in geometrical arrangement, in which is reached perpendicular direction between axis of ion beam and planar area of substrate. In this arrangement the maximal ion range in substrate and minimal ion sputtering are reached. Homogenous ion implantation is reached by the rotation of substrate by means of special mechanism.

Druh

G_funk - Funkční vzorek

CEP obor

JQ - Strojní zařízení a nástroje

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2008

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu

12102 - P02 - 2008 - 11

Číselná identifikace

—

Technické parametry

Iontová implantace do substrátů ve vertikální poloze

Ekonomické parametry

4 000 Kč

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

68407700

Název vlastníka

České vysoké učení technické v Praze, Fakulta strojní

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

P - Využití výsledku jiným subjektem je v některých případech možné bez nabytí licence

Požadavek na licenční poplatek

Z - Poskytovatel licence na výsledek nepožaduje v některých případech licenční poplatek

Adresa www stránky s výsledkem

—