Návrh piezorezistivních senzorů deformace v SOI technologii
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F08%3A03147702" target="_blank" >RIV/68407700:21230/08:03147702 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Design of Piezoresistive Strain Sensor based on SOI technology
Popis výsledku v původním jazyce
Electronics for instrumentation and control systems are required to operate at ever increasing temperatures. Device operation at temperatures greater than 200 °C is required for a variety of present and next-generation control applications including e.g.turbine engine control and other industrial applications. SOI technology is suitable technology for fabrication of hi-temperature devices as well as devices for RF applications. The following paper introduces the CoventorWare design environment for SOIbased piezoresistive sensor design. It uses a hybrid approach that is a unique combination of diaphragm FEM analysis using Analyzer and piezoresistive sensor modelling using Architect's circuit simulation environment.
Název v anglickém jazyce
Design of Piezoresistive Strain Sensor based on SOI technology
Popis výsledku anglicky
Electronics for instrumentation and control systems are required to operate at ever increasing temperatures. Device operation at temperatures greater than 200 °C is required for a variety of present and next-generation control applications including e.g.turbine engine control and other industrial applications. SOI technology is suitable technology for fabrication of hi-temperature devices as well as devices for RF applications. The following paper introduces the CoventorWare design environment for SOIbased piezoresistive sensor design. It uses a hybrid approach that is a unique combination of diaphragm FEM analysis using Analyzer and piezoresistive sensor modelling using Architect's circuit simulation environment.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
JB - Senzory, čidla, měření a regulace
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/GA102%2F06%2F1624" target="_blank" >GA102/06/1624: Mikro a nano senzorové struktury a systémy se zabudovanou inteligencí (MINASES)</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2008
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
MIPRO 2008 - Proceedings Vol. 1 MEET & GVS
ISBN
978-953-233-036-6
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
—
Název nakladatele
Croatian Society SMFE
Místo vydání
Zagreb
Místo konání akce
Opatija
Datum konání akce
26. 5. 2008
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—