Design of Experiments of AlN Reactive Sputtering

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F09%3A00155827" target="_blank" >RIV/68407700:21230/09:00155827 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Design of Experiments of AlN Reactive Sputtering

Popis výsledku v původním jazyce

Factor experiments have been used for optimization of a process of reactive sputtering of AlN. Different sputtering conditions were examined and their influence on the thickness of sputtered joints was investigated.

Název v anglickém jazyce

Design of Experiments of AlN Reactive Sputtering

Popis výsledku anglicky

Factor experiments have been used for optimization of a process of reactive sputtering of AlN. Different sputtering conditions were examined and their influence on the thickness of sputtered joints was investigated.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2009

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

32nd ISSE 2009 Proceedings

ISBN

978-1-4244-4260-7

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

—

Název nakladatele

VUT v Brně, FEI

Místo vydání

Brno

Místo konání akce

Brno

Datum konání akce

13. 5. 2009

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—