Nanocrystalline Diamond Piezoresistive Sensor
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F09%3A00157419" target="_blank" >RIV/68407700:21230/09:00157419 - isvavai.cz</a>
Nalezeny alternativní kódy
RIV/68378271:_____/09:00337045
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Nanocrystalline Diamond Piezoresistive Sensor
Popis výsledku v původním jazyce
The design, fabrication and test of piezoresistive sensors based on nanocrystalline diamond (NCD) films are reported. The CoventorWare FEM calculations of the mechanical stress and geometrical deformations of a 3-D structure are used for a proper localization of the piezoresistor on the carrying substrate. The boron-doped piezoresistive sensing element was realized using a directed patterned growth of NCD film on SiO2/Si by microwave plasma-enhanced chemical vapour deposition (CVD).
Název v anglickém jazyce
Nanocrystalline Diamond Piezoresistive Sensor
Popis výsledku anglicky
The design, fabrication and test of piezoresistive sensors based on nanocrystalline diamond (NCD) films are reported. The CoventorWare FEM calculations of the mechanical stress and geometrical deformations of a 3-D structure are used for a proper localization of the piezoresistor on the carrying substrate. The boron-doped piezoresistive sensing element was realized using a directed patterned growth of NCD film on SiO2/Si by microwave plasma-enhanced chemical vapour deposition (CVD).
Klasifikace
Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
JB - Senzory, čidla, měření a regulace
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/GA102%2F09%2F1601" target="_blank" >GA102/09/1601: Inteligentní mikro a nano struktury pro mikrosenzory realizované s využitím nanotechnologií</a><br>
Návaznosti
Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)
Ostatní
Rok uplatnění
2009
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
Vacuum
ISSN
0042-207X
e-ISSN
—
Svazek periodika
84
Číslo periodika v rámci svazku
1
Stát vydavatele periodika
GB - Spojené království Velké Británie a Severního Irska
Počet stran výsledku
4
Strana od-do
—
Kód UT WoS článku
000270625900012
EID výsledku v databázi Scopus
—