Modeling and Simulation of Gas-Damped Electrostatic Actuators of MEMS Devices
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F09%3A00192032" target="_blank" >RIV/68407700:21230/09:00192032 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Modeling and Simulation of Gas-Damped Electrostatic Actuators of MEMS Devices
Popis výsledku v původním jazyce
The paper describes the universal multiphysics model of gas-damped electrostatic MEMS actuator and its solution by the finite element method (FEM). The model is represented as a set of coupled partial differential equations; and includes electrostatics,solid mechanics and gas dynamics. Moreover, the multiphysics model can be simply complemented with a model of control circuits of the actuator and thus it is possible to simulate the response of the actuator on different control strategies.
Název v anglickém jazyce
Modeling and Simulation of Gas-Damped Electrostatic Actuators of MEMS Devices
Popis výsledku anglicky
The paper describes the universal multiphysics model of gas-damped electrostatic MEMS actuator and its solution by the finite element method (FEM). The model is represented as a set of coupled partial differential equations; and includes electrostatics,solid mechanics and gas dynamics. Moreover, the multiphysics model can be simply complemented with a model of control circuits of the actuator and thus it is possible to simulate the response of the actuator on different control strategies.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
S - Specificky vyzkum na vysokych skolach
Ostatní
Rok uplatnění
2009
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Proceedings of the 13th World Multi-Conference on Systemics, Cybernetics and Informatics
ISBN
978-1-934272-61-9
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
251-256
Název nakladatele
International Institute of Informatics and Systemics
Místo vydání
Orlando, Florida
Místo konání akce
Orlando
Datum konání akce
10. 7. 2009
Typ akce podle státní příslušnosti
WRD - Celosvětová akce
Kód UT WoS článku
—