Design and Fabrication of Piezoelectric Generator with Thin ZNO Layer
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F12%3A00198314" target="_blank" >RIV/68407700:21230/12:00198314 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://www.imaps.cz/eds/" target="_blank" >http://www.imaps.cz/eds/</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Design and Fabrication of Piezoelectric Generator with Thin ZNO Layer
Popis výsledku v původním jazyce
The paper presents design methodology and fabrication process of piezoelectric generator with thin-film Zinc Oxide (ZnO) layer. The design methodology utilizing FEM simulations is presented. Modeling and simulation of mechanical stresses, resonant frequencies, vibration modes and magnitude of generated voltage is virtually essential for any design of MEMS energy harvesting structures. CoventorWare software package was used as a very strong tool in the structure design. Simulation results opens the possibility for optimization of shape and position of the piezoelectric elements on the deformation transducer to achieve the maximum sensitivity and performance.
Název v anglickém jazyce
Design and Fabrication of Piezoelectric Generator with Thin ZNO Layer
Popis výsledku anglicky
The paper presents design methodology and fabrication process of piezoelectric generator with thin-film Zinc Oxide (ZnO) layer. The design methodology utilizing FEM simulations is presented. Modeling and simulation of mechanical stresses, resonant frequencies, vibration modes and magnitude of generated voltage is virtually essential for any design of MEMS energy harvesting structures. CoventorWare software package was used as a very strong tool in the structure design. Simulation results opens the possibility for optimization of shape and position of the piezoelectric elements on the deformation transducer to achieve the maximum sensitivity and performance.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/GA102%2F09%2F1601" target="_blank" >GA102/09/1601: Inteligentní mikro a nano struktury pro mikrosenzory realizované s využitím nanotechnologií</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2012
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
Proceedings of Electronic Devices and Systems EDS 2012
ISBN
978-80-214-4539-0
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
5
Strana od-do
167-171
Název nakladatele
VUT v Brně, FEKT
Místo vydání
Brno
Místo konání akce
Brno
Datum konání akce
28. 6. 2012
Typ akce podle státní příslušnosti
EUR - Evropská akce
Kód UT WoS článku
—