Měřící sonda s nanokrystalickým diamantovým povlakem a detekčním obvodem pro mikroskopická elektrická měření

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21230%2F24%3A00378082" target="_blank" >RIV/68407700:21230/24:00378082 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="https://doi.org/10.5281/zenodo.14739109" target="_blank" >https://doi.org/10.5281/zenodo.14739109</a>

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Měřící sonda s nanokrystalickým diamantovým povlakem a detekčním obvodem pro mikroskopická elektrická měření

Popis výsledku v původním jazyce

Jedná se o funkční vzorek měřící sondy s vodivým nanokrystalickým diamantovým povlakem na hrotu a vlastním elektronickým obvodem pro detekci sil působících na sondu bez pomoci laseru (tzv. „self-sensing“ sonda). Klíčové pro výrobu sondy je lokální nanesení diamantových částice v mikroskopické oblasti na hrotu sondu a vyladění gradientu tepelné vodivosti podél sondy tak, aby v plazmatickém CVD procesu narostl kvalitní vodivý diamant na hrotu sondy a současně nebyl poškozen elektronický detekční obvod na těle sondy. Výsledná sonda tvoří funkční celek s nosičem pro uchycení a měření v mikroskopu. Funkčnost sondy byla ověřena experimenty s měřením struktury a elektrického proudu na kovových a polovodičových nanostrukturách. Funkční vzorek byl vyvinut v rámci mezinárodního projektu agentury TAČR.

Název v anglickém jazyce

Measuring probe with nanocrystalline diamond coating and detection circuit for microscopic electrical measurements

Popis výsledku anglicky

This is a functional sample of a measuring probe with a conductive nanocrystalline diamond coating on the tip and its own electronic circuit for detection of forces acting on the probe without the use of laser (so called “self-sensing” probe). The key to the production of the probe is the local deposition of diamond particles in a microscopic area on the probe tip and tuning the thermal conductivity gradient along the probe so that a high-quality conductive diamond grows on the probe tip in the plasma CVD process whereas the electronic detection circuit on the probe body is not damaged. The resulting probe forms a functional unit with a carrier for attachment and measurement in a microscope. The functionality of the probe was verified by experiments measuring the structure and electrical currents on metal and semiconductor nanostructures. The functional sample was developed as part of an international project of the TAČR agency.

Druh

G_funk - Funkční vzorek

CEP obor

—

OECD FORD obor

20506 - Coating and films

Projekt

<a href="/cs/project/TM03000033" target="_blank" >TM03000033: TACOM - Vývoj korelativního AFM a SEM/AirSEM mikroskopu</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2024

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Interní identifikační kód produktu

TCM2024-1

Číselná identifikace

TCM2024-1

Technické parametry

Sonda na bázi křemíkového MEMS čipu je dále smontována a elektricky propojena s PCB nosičem, se kterým tvoří kompletní funkční celek pro uchycení a měření v mikroskopu. Celkové rozměry jsou přibližně 15 x 10 mm. Na hrotu je nanokrystalická diamantová vrstva o tloušťce 100 – 500 nm. Na těle sondy je detekční obvod průhybu. Vyrobené zařízení umožňuje studovat morfologii a elektrické vlastností vzorků mikroskopem atomárních sil ve vakuu, na vzduchu a v dalších prostředích. Výsledek vznikl v rámci spolupráce mezi partnery v projektu TAČR TM03000033. Na výsledku proto mají podíl Fakulta elektrotechnická, České vysoké učení technické v Praze (IČO 68407700, 80%) a firma Nenovision, s.r.o. (IČO 04525671, 20%). Po ukončení projektu bude uzavřena smlouva o využití výsledků.

Ekonomické parametry

Výsledek je využíván pro další technické a ekonomické aktivity dvěma partnery Fakulta elektrotechnická, České vysoké učení technické v Praze (IČO 68407700), a Nenovision, s.r.o. (IČO 04525671). V případě komerčního využití očekáváme tržby v řádu MKč/ročně.

Kategorie aplik. výsledku dle nákladů

—

IČO vlastníka výsledku

68407700

Název vlastníka

České vysoké učení technické v Praze / Fakulta elektrotechnická

Stát vlastníka

CZ - Česká republika

Druh možnosti využití

V - Výsledek je využíván vlastníkem

Požadavek na licenční poplatek

A - Poskytovatel licence na výsledek požaduje licenční poplatek

Adresa www stránky s výsledkem

https://doi.org/10.5281/zenodo.14739109