Studium katodového napětí při naprašování s pulzováním reaktivního plynu: W target a Ar-O2 atmosféra

Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21260%2F07%3A06139518" target="_blank" >RIV/68407700:21260/07:06139518 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
—
DOI - Digital Object Identifier
—

Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Study of the Cathode Potential in a Sputtering Discharge by Pulsing the Reactive Gas: Case of a W Target in an Ar-O2 Atmosphere
Popis výsledku v původním jazyce
The process we used was d.c. magnetron sputtering, and we studied both the conventional process, using a constant flow of oxygen, and the process in which we pulsed the reactive gas. Square regulation signal with different pulsing periods (T) and oxygeninjection time (ton) was used in the reactive gas pulsing (RGP), while the partial argon pressure was kept constant for all depositions.
Název v anglickém jazyce
Study of the Cathode Potential in a Sputtering Discharge by Pulsing the Reactive Gas: Case of a W Target in an Ar-O2 Atmosphere
Popis výsledku anglicky
The process we used was d.c. magnetron sputtering, and we studied both the conventional process, using a constant flow of oxygen, and the process in which we pulsed the reactive gas. Square regulation signal with different pulsing periods (T) and oxygeninjection time (ton) was used in the reactive gas pulsing (RGP), while the partial argon pressure was kept constant for all depositions.

Druh
J<sub>x</sub> - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—

Rok uplatnění
2007
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Podobné výsledky(10)