Optické a strukturní vlastnosti mikrokrystalického křemíku, vyrobeného mikrovlnnou PECVD

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21340%2F05%3A04116669" target="_blank" >RIV/68407700:21340/05:04116669 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Optical and Structural Properties of Microcrystalline Silicon, Grown by Microwave PECVD

Popis výsledku v původním jazyce

We investigated the deposition of &#61549;c-Si by microwave PECVD. MWPECVD is an excellent tool for fast deposition of silicon at low temperatures, however, this fast growth is often accompanied with high porosity. In order to obtain dense Si layers we investigated a large deposition parameter space.

Název v anglickém jazyce

Optical and Structural Properties of Microcrystalline Silicon, Grown by Microwave PECVD

Popis výsledku anglicky

We investigated the deposition of &#61549;c-Si by microwave PECVD. MWPECVD is an excellent tool for fast deposition of silicon at low temperatures, however, this fast growth is often accompanied with high porosity. In order to obtain dense Si layers we investigated a large deposition parameter space.

Druh

A - Audiovizuální tvorba

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2005

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

ISBN

3-936338-19-1

Místo vydání

München

Název nakladatele resp. objednatele

—

Verze

—

Identifikační číslo nosiče

neuvedeno