Laser induced damage treshold of silicon with native and artificial SiO2 layer
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21340%2F19%3A00336200" target="_blank" >RIV/68407700:21340/19:00336200 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="https://doi.org/10.17973/MMSJ.2019_12_2019103" target="_blank" >https://doi.org/10.17973/MMSJ.2019_12_2019103</a>
DOI - Digital Object Identifier
<a href="http://dx.doi.org/10.17973/MMSJ.2019_12_2019103" target="_blank" >10.17973/MMSJ.2019_12_2019103</a>
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Laser induced damage treshold of silicon with native and artificial SiO2 layer
Popis výsledku v původním jazyce
Spot size measurements of a 260 fs, 1030 nm focused spatially Gaussian pulsed laser beam were performed on a Silicon surface with native and thermally grown SiO2 layers using a widely known method of evaluating laser beam energy dependent damage area. Single pulse laser induced damage thresholds of both samples were also measured. Modification of the thermally grown SiO2 layer was analyzed in detail using optical, confocal and scanning electron microscopy. Restrictions in Gaussian beam spot size measurements on the samples with transparent coatings and several observable thresholds are discussed.
Název v anglickém jazyce
Laser induced damage treshold of silicon with native and artificial SiO2 layer
Popis výsledku anglicky
Spot size measurements of a 260 fs, 1030 nm focused spatially Gaussian pulsed laser beam were performed on a Silicon surface with native and thermally grown SiO2 layers using a widely known method of evaluating laser beam energy dependent damage area. Single pulse laser induced damage thresholds of both samples were also measured. Modification of the thermally grown SiO2 layer was analyzed in detail using optical, confocal and scanning electron microscopy. Restrictions in Gaussian beam spot size measurements on the samples with transparent coatings and several observable thresholds are discussed.
Klasifikace
Druh
J<sub>SC</sub> - Článek v periodiku v databázi SCOPUS
CEP obor
—
OECD FORD obor
10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
S - Specificky vyzkum na vysokych skolach
Ostatní
Rok uplatnění
2019
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název periodika
MM Science Journal
ISSN
1803-1269
e-ISSN
1805-0476
Svazek periodika
2019
Číslo periodika v rámci svazku
December
Stát vydavatele periodika
CZ - Česká republika
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
3579-3584
Kód UT WoS článku
—
EID výsledku v databázi Scopus
2-s2.0-85076600420