Optimisation of deposition parameters of Ionised Jet Deposition (IJD) created Titanium nitride thin films

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21340%2F24%3A00378630" target="_blank" >RIV/68407700:21340/24:00378630 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Optimisation of deposition parameters of Ionised Jet Deposition (IJD) created Titanium nitride thin films

Popis výsledku v původním jazyce

Titanium nitride is often used as a protective coating due to its hardness. This material is mostly deposited by pulsed laser deposition or magnetron sputtering. Ionized jet deposition has a potential to improve and diversify ways of making titanium nitride thin films. We optimised the nitrogen pressure in the IJD chamber to suppress concentration of titanium oxide in films. We manufactured a set of films using different deposition pressures. Based on the XRD data, higher gas pressure is preferable. In contrast, lower gas pressure contributes to higher film growth, based on AFM data.

Název v anglickém jazyce

Optimisation of deposition parameters of Ionised Jet Deposition (IJD) created Titanium nitride thin films

Popis výsledku anglicky

Titanium nitride is often used as a protective coating due to its hardness. This material is mostly deposited by pulsed laser deposition or magnetron sputtering. Ionized jet deposition has a potential to improve and diversify ways of making titanium nitride thin films. We optimised the nitrogen pressure in the IJD chamber to suppress concentration of titanium oxide in films. We manufactured a set of films using different deposition pressures. Based on the XRD data, higher gas pressure is preferable. In contrast, lower gas pressure contributes to higher film growth, based on AFM data.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

—

OECD FORD obor

10302 - Condensed matter physics (including formerly solid state physics, supercond.)

Projekt

—

Návaznosti

S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Rok uplatnění

2024

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Sborník příspěvků 13. studentské vědecké konference fyziky pevných látek, fotoniky a materiálů

ISBN

978-80-01-07382-7

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

8

Strana od-do

39-46

Název nakladatele

ČVUT, Fakulta jaderná a fyzikálně inženýrská, Katedra inženýrství pevných látek

Místo vydání

Praha

Místo konání akce

Byňov-Nové Hrady

Datum konání akce

3. 9. 2024

Typ akce podle státní příslušnosti

CST - Celostátní akce

Kód UT WoS článku

—