Study of Thin TiCxN1-x Films Fabricated by Hybrid Magnetron-Laser Deposition

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68407700%3A21460%2F05%3A00117729" target="_blank" >RIV/68407700:21460/05:00117729 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Study of Thin TiCxN1-x Films Fabricated by Hybrid Magnetron-Laser Deposition

Popis výsledku v původním jazyce

Titanium- carbonitride thin films were grown at room temperature using a hybrid deposition arrangement combining DC magnetron sputtering and KrF pulsed laser deposition (MSPLD). Carbon and titanium were simultaneously deposited on the same Si substrate,dimensions of 3 cm x 3 cm. Films were fabricated in argon-nitrogen atmosphere of 1 Pa - 5 Pa, for laser fluence of 15 Jcm(-2) and magnetron power of 150 W. Film properties were modified by RF discharge held between the target and substrate. Film crystallinity was studied by XRD and the composition depth profile of TiCN layers by glow discharge optical emission spectroscopy (GDOES).

Název v anglickém jazyce

Study of Thin TiCxN1-x Films Fabricated by Hybrid Magnetron-Laser Deposition

Popis výsledku anglicky

Titanium- carbonitride thin films were grown at room temperature using a hybrid deposition arrangement combining DC magnetron sputtering and KrF pulsed laser deposition (MSPLD). Carbon and titanium were simultaneously deposited on the same Si substrate,dimensions of 3 cm x 3 cm. Films were fabricated in argon-nitrogen atmosphere of 1 Pa - 5 Pa, for laser fluence of 15 Jcm(-2) and magnetron power of 150 W. Film properties were modified by RF discharge held between the target and substrate. Film crystallinity was studied by XRD and the composition depth profile of TiCN layers by glow discharge optical emission spectroscopy (GDOES).

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

V - Vyzkumna aktivita podporovana z jinych verejnych zdroju

Rok uplatnění

2005

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Photonics Prague 2005

ISBN

80-86742-08-3

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

1

Strana od-do

—

Název nakladatele

Agentura Action

Místo vydání

Praha

Místo konání akce

Prague

Datum konání akce

8. 6. 2005

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

000236543600016