Tenké vrstvy TiCN připravené hybridní magnetron- laserovou depozicí

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F07%3A00086725" target="_blank" >RIV/68378271:_____/07:00086725 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Thin TiCN films prepared by hybrid magnetron-laser deposition

Popis výsledku v původním jazyce

Titanium carbonitride thin films were prepared by hybrid deposition arrangement combining DC magnetron sputtering and KrF pulsed laser deposition. Carbon and titanium species were simultaneously deposited on the same rotated Si substrate. Films were fabricated at room substrate temperature in argon-nitrogen ambient atmosphere, for laser fluence of 15 J.cm-2 and magnetron power of 150 W. Film properties were modified by RF discharge held between the target and substrate. Films were studied by XRD and glow discharge optical emission spectroscopy (GDOES). Mechanical and electronic properties (XPS) were also measured.

Název v anglickém jazyce

Thin TiCN films prepared by hybrid magnetron-laser deposition

Popis výsledku anglicky

Titanium carbonitride thin films were prepared by hybrid deposition arrangement combining DC magnetron sputtering and KrF pulsed laser deposition. Carbon and titanium species were simultaneously deposited on the same rotated Si substrate. Films were fabricated at room substrate temperature in argon-nitrogen ambient atmosphere, for laser fluence of 15 J.cm-2 and magnetron power of 150 W. Film properties were modified by RF discharge held between the target and substrate. Films were studied by XRD and glow discharge optical emission spectroscopy (GDOES). Mechanical and electronic properties (XPS) were also measured.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BH - Optika, masery a lasery

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/GA202%2F06%2F0216" target="_blank" >GA202/06/0216: Studium plazmatu vznikajícího při hybridní modifikaci pulzní laserové depozice</a><br>

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Plasma Processes and Polymers

ISSN

1612-8850

e-ISSN

—

Svazek periodika

4

Číslo periodika v rámci svazku

-

Stát vydavatele periodika

DE - Spolková republika Německo

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

5651-5654

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—