Theoretical analysis of the atomic force microscopy characterization of columnar thin ?lms

Kód výsledku v IS VaVaI

RIV/00177016:_____/03:#0000326 - isvavai.cz

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Theoretical analysis of the atomic force microscopy characterization of columnar thin ?lms

Popis výsledku v původním jazyce

In this paper, the theoretical analysis of the in?uence of ?nite linear dimensions of an atomic force microscope tip on pro?les of the upper boundaries of columnar thin ?lms and their statistical quantities is performed. This analysis is based on a numerical evaluation of the main statistical quantities, i.e. the standard deviations of the heights and slopes, one-dimensional distributions of the probability density of heights and slopes and power spectral density function, corresponding to a simulated columnar structure of the thin ?lms. It is shown that the strongest misrepresentation of the measured pro?les of the upper boundaries of the columnar ?lms originates in the cases when the linear dimensions of the columns are smaller or comparable with thelinear dimensions of the tip. Further, it is shown that using a surface reconstruction procedure one can correct (improve) the boundary pro?les and their statistical quantities partially.

Název v anglickém jazyce

Theoretical analysis of the atomic force microscopy characterization of columnar thin ?lms

Popis výsledku anglicky

In this paper, the theoretical analysis of the in?uence of ?nite linear dimensions of an atomic force microscope tip on pro?les of the upper boundaries of columnar thin ?lms and their statistical quantities is performed. This analysis is based on a numerical evaluation of the main statistical quantities, i.e. the standard deviations of the heights and slopes, one-dimensional distributions of the probability density of heights and slopes and power spectral density function, corresponding to a simulated columnar structure of the thin ?lms. It is shown that the strongest misrepresentation of the measured pro?les of the upper boundaries of the columnar ?lms originates in the cases when the linear dimensions of the columns are smaller or comparable with thelinear dimensions of the tip. Further, it is shown that using a surface reconstruction procedure one can correct (improve) the boundary pro?les and their statistical quantities partially.

Druh

J_x - Nezařazeno - Článek v odborném periodiku (Jimp, Jsc a Jost)

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2003

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název periodika

Ultramicroscopy

ISSN

0304-3991

e-ISSN

—

Svazek periodika

94

Číslo periodika v rámci svazku

11

Stát vydavatele periodika

NL - Nizozemsko

Počet stran výsledku

10

Strana od-do

—

Kód UT WoS článku

—

EID výsledku v databázi Scopus

—