Computational Study of Interaction Between Multicomponent Plasma and Solid

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F11%3A10109814" target="_blank" >RIV/00216208:11320/11:10109814 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://www.mff.cuni.cz/veda/konference/wds/proc/pdf11/WDS11_218_f2_Ibehej.pdf" target="_blank" >http://www.mff.cuni.cz/veda/konference/wds/proc/pdf11/WDS11_218_f2_Ibehej.pdf</a>

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Computational Study of Interaction Between Multicomponent Plasma and Solid

Popis výsledku v původním jazyce

Presented computer model simulates an interaction of low-temperature Ar/O2 plasma with conductive solid substrate. Mixtures of argon with electronegative gases are often used in material processing technologies. The results can also be used for an analysis of Langmuir probe measurements. Electrostatic potential, number densities of species contained in plasma near the biased substrate and fluxes of the species to the substrate are studied in both static and dynamic regimes. Presented two-dimensional simulation was written in C language with additional parallel computing and force calculation libraries. Computational technique is a hybrid Molecular Dynamics / Monte Carlo particle approach with advanced collisions-computing method and a two-dimensional Particle in Cell force calculation.

Název v anglickém jazyce

Computational Study of Interaction Between Multicomponent Plasma and Solid

Popis výsledku anglicky

Presented computer model simulates an interaction of low-temperature Ar/O2 plasma with conductive solid substrate. Mixtures of argon with electronegative gases are often used in material processing technologies. The results can also be used for an analysis of Langmuir probe measurements. Electrostatic potential, number densities of species contained in plasma near the biased substrate and fluxes of the species to the substrate are studied in both static and dynamic regimes. Presented two-dimensional simulation was written in C language with additional parallel computing and force calculation libraries. Computational technique is a hybrid Molecular Dynamics / Monte Carlo particle approach with advanced collisions-computing method and a two-dimensional Particle in Cell force calculation.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)<br>S - Specificky vyzkum na vysokych skolach

Rok uplatnění

2011

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

WDS'11 Proceedings of Contributed Papers: Part II ? Physics of Plasmas and Ionized Media

ISBN

978-80-7378-185-9

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

111-114

Název nakladatele

Matfyzpress

Místo vydání

Praha

Místo konání akce

Praha

Datum konání akce

31. 5. 2011

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—