Modelling of RF discharge in argon plasma

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F68378271%3A_____%2F07%3A00320055" target="_blank" >RIV/68378271:_____/07:00320055 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Modelling of RF discharge in argon plasma

Popis výsledku v původním jazyce

An one-dimensional hybrid model of RF discharge in low-temperature argon plasma is presented in our paper. The hybrid model consists of two parts?particle model which simulates fast electrons while fluid model simulates slow electrons and positive argonions. Typical results of our calculations presented in this paper are total RF current and RF voltage waveforms on the planar substrate immersed into argon plasma. The next results which can be found here are the ion, electron and displacement current waveforms on the substrate.

Název v anglickém jazyce

Modelling of RF discharge in argon plasma

Popis výsledku anglicky

An one-dimensional hybrid model of RF discharge in low-temperature argon plasma is presented in our paper. The hybrid model consists of two parts?particle model which simulates fast electrons while fluid model simulates slow electrons and positive argonions. Typical results of our calculations presented in this paper are total RF current and RF voltage waveforms on the planar substrate immersed into argon plasma. The next results which can be found here are the ion, electron and displacement current waveforms on the substrate.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech

OECD FORD obor

—

Projekt

Výsledek vznikl pri realizaci vícero projektů. Více informací v záložce Projekty.

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)<br>Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2007

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the International Conference on Computational Methods in Science and Engineering 2007 (ICCMSE 2007): Volume 2, Part B

ISBN

978-0-7354-0476-2

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

1240-1243

Název nakladatele

American Institut of Physics

Místo vydání

Melville

Místo konání akce

Corfu

Datum konání akce

25. 9. 2007

Typ akce podle státní příslušnosti

WRD - Celosvětová akce

Kód UT WoS článku

000252602900305