Počítačové modelování RF výboje v argonovém plazmatu

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F60076658%3A12410%2F08%3A00009199" target="_blank" >RIV/60076658:12410/08:00009199 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Modelling of RF discharge in argon plasma

Popis výsledku v původním jazyce

An one-dimensional hybrid model of RF discharge in low-temperature argon plasma is presented in our paper. The hybrid model consists of two parts- particle model which simulate fast electrons while fluid model simulates slow electrons and positive argonions. In the particle model the positions and velocities of fast electrons are calculated by mean of deterministic Verlet algorithm while the collision processes are treated by the stochastic way. For the solution of fluid equations, for slow electrons and positive argon ions, the Scharfetter-Gummel exponential algorithm was use. Typical results of our calculations presented in this paper are total RF current and RF voltage waveforms on the planar substrate immersed into argon plasma. The next results which can be found here are the ion, electron and displacement current waveforms on the substrate.

Název v anglickém jazyce

Modelling of RF discharge in argon plasma

Popis výsledku anglicky

An one-dimensional hybrid model of RF discharge in low-temperature argon plasma is presented in our paper. The hybrid model consists of two parts- particle model which simulate fast electrons while fluid model simulates slow electrons and positive argonions. In the particle model the positions and velocities of fast electrons are calculated by mean of deterministic Verlet algorithm while the collision processes are treated by the stochastic way. For the solution of fluid equations, for slow electrons and positive argon ions, the Scharfetter-Gummel exponential algorithm was use. Typical results of our calculations presented in this paper are total RF current and RF voltage waveforms on the planar substrate immersed into argon plasma. The next results which can be found here are the ion, electron and displacement current waveforms on the substrate.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BK - Mechanika tekutin

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/KAN101120701" target="_blank" >KAN101120701: Nanokompozitní vrstvy a nanočástice vytvářené v nízkotlakém plazmatu pro povrchové modifikace</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2008

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Computational Methods in Sciences and Engineering

ISBN

978-0-7354-0477-9

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

4

Strana od-do

—

Název nakladatele

American Institute of Physics

Místo vydání

Melville

Místo konání akce

—

Datum konání akce

—

Typ akce podle státní příslušnosti

—

Kód UT WoS článku

—