Deposition of TiO2 Nanoparticles by Means of Hollow Cathode Plasma Jet in DC Regime
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F14%3A10290801" target="_blank" >RIV/00216208:11320/14:10290801 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="http://www.mff.cuni.cz/veda/konference/wds/proc/pdf14/WDS14_49_f2_Perekrestov.pdf" target="_blank" >http://www.mff.cuni.cz/veda/konference/wds/proc/pdf14/WDS14_49_f2_Perekrestov.pdf</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Deposition of TiO2 Nanoparticles by Means of Hollow Cathode Plasma Jet in DC Regime
Popis výsledku v původním jazyce
TiO2 nanoparticles have been investigated in this work. Nanoparticles were obtained in Ar plasma on monocrystaline Si(111) substrate by means of gas-phase deposition using hollow cathode plasma jet (HCPJ). Oxygen was introduced separately from argon through inlet in a chamber. The material of a cathode is pure titanium. The explanation of nanoparticles growth mechanism is given. Morphology of thin films surface was investigated by the atomic force microscope (AFM). A chemical composition of the thin films was investigated by means of energy-dispersive x-ray analysis (EDX).
Název v anglickém jazyce
Deposition of TiO2 Nanoparticles by Means of Hollow Cathode Plasma Jet in DC Regime
Popis výsledku anglicky
TiO2 nanoparticles have been investigated in this work. Nanoparticles were obtained in Ar plasma on monocrystaline Si(111) substrate by means of gas-phase deposition using hollow cathode plasma jet (HCPJ). Oxygen was introduced separately from argon through inlet in a chamber. The material of a cathode is pure titanium. The explanation of nanoparticles growth mechanism is given. Morphology of thin films surface was investigated by the atomic force microscope (AFM). A chemical composition of the thin films was investigated by means of energy-dispersive x-ray analysis (EDX).
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
OECD FORD obor
—
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/GAP205%2F11%2F0386" target="_blank" >GAP205/11/0386: Pokročilý experimentální výzkum výbojových zdrojů plazmatu použitých pro přípravu nanostrukturovaných tenkých vrstev</a><br>
Návaznosti
S - Specificky vyzkum na vysokych skolach<br>I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2014
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
WDS 2014 - Proceedings of Contributed Papers - Physics
ISBN
978-80-7378-276-4
ISSN
—
e-ISSN
—
Počet stran výsledku
5
Strana od-do
275-279
Název nakladatele
Matfyzpress
Místo vydání
Praha
Místo konání akce
Praha
Datum konání akce
3. 6. 2014
Typ akce podle státní příslušnosti
EUR - Evropská akce
Kód UT WoS článku
—