Způsob a zařízení pro přípravu mikroporézních vrstev nitridu křemíku v křemenných ampulích

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F15%3A10319208" target="_blank" >RIV/00216208:11320/15:10319208 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

<a href="http://isdv.upv.cz/portal/pls/portal/portlets.pts.det?xprim=10071912&lan=cs&s_majs=&s_puvo=&s_naze=&s_anot=" target="_blank" >http://isdv.upv.cz/portal/pls/portal/portlets.pts.det?xprim=10071912&lan=cs&s_majs=&s_puvo=&s_naze=&s_anot=</a>

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

čeština

Název v původním jazyce

Způsob a zařízení pro přípravu mikroporézních vrstev nitridu křemíku v křemenných ampulích

Popis výsledku v původním jazyce

Způsob přípravy mikroporézní vrstvy nitridu křemíku v křemenných ampulích spočívá v tom, že se křemenná ampule vloží do pece o výchozí laboratorní teplotě, opatří se plynotěsnou hlavicí, zapne se ohřev pece a křemenná ampule se vyhřeje na pracovní teplotu. Dále se plní průtokově metanem, přitom probíhá pyrolýza metanu, přičemž se pyrolýzní uhlík usazuje na stěnu křemenné ampule a uhlík se nechá reagovat s povrchem křemenné ampule, přičemž se tvoří aktivní vrstva křemíku, která se nechá omývat proudem čpavku. Při stále protékajícím čpavku se zavede do křemenné ampule směs silanu a vodíku a podává se řízeně vstupním elektromagnetickým ventilem do odměřovací komůrky a přítok směsi silanu a vodíku do křemenné ampule se zastaví a za stálého průtoku čpavku se křemenná ampule ve vypnuté peci nechá chladnout na laboratorní teplotu. Zařízení k provádění způsobu přípravy mikroporézních vrstev nitridu křemíku v křemenných ampulích je vytvořeno z reakční části, čerpací části, části zavádění metanu, části zavádění čpavku a části směšování silanu s vodíkem složené z podčásti zásobování silanem a podčásti zásobování vodíkem.

Název v anglickém jazyce

Process for preparing microporous layers of silicon nitride in quartz ampoules and apparatus for making the same

Popis výsledku anglicky

In the present invention, there is disclosed a process for preparing microporous layers of silicon nitride in quartz ampoules wherein the invented process is characterized in that a quartz ampoule is put into a furnace at an initial laboratory temperature, is provided with a gas tight head. Then heating of the furnace is switched on and the quartz ampoules are heated to an operating temperature. Further, it is filled with methane wherein methane pyrolysis takes place and the pyrolysis carbon deposits on the quartz ampoule wall and a carbon is let to react with the surface of the quartz ampoule. At the same time, an active layer of silicon, being just formed, is washed in ammonium flow. A mixture of silane and hydrogen is introduced into the quartz ampoule during permanent flow of ammonium, wherein the mixture of silane and hydrogen is proportioned in a controlled manner through an inlet electromagnetic valve into a metering chamber. The flow of the silane and hydrogen mixture into the quartz ampoule is stopped and under the permanent flow of ammonia, the quartz ampoule is let to cool down in the switched off furnace to laboratory temperature. Apparatus for making the above-described process of microporous layers of silicon nitride in quartz ampoules consists of a reaction section, a pumping section, a methane-introducing section, an ammonia-introducing section, and a silane and hydrogen mixing section comprised of a silane delivery subsection and a hydrogen delivery subsection.

Druh

P - Patent

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

<a href="/cs/project/TA03010103" target="_blank" >TA03010103: Výzkum a vývoj zařízení a technologie pro multizonální čištění a syntézu monokrystalů polovodičů na bázi teluridu kademnatého pro optoelektronické aplikace</a><br>

Návaznosti

P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)

Rok uplatnění

2015

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Číslo patentu nebo vzoru

305576

Vydavatel

CZ001 -

Název vydavatele

Industrial Property Office

Místo vydání

Prague

Stát vydání

CZ - Česká republika

Datum přijetí

4. 11. 2015

Název vlastníka

Univerzita Karlova v Praze

Způsob využití

A - Výsledek využívá pouze poskytovatel

Druh možnosti využití

A - K využití výsledku jiným subjektem je vždy nutné nabytí licence