Vliv vrstev nitridu křemíku na difuzní délku minoritních nosičů v Si

Kód výsledku v IS VaVaI

<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F67985882%3A_____%2F06%3A00083592" target="_blank" >RIV/67985882:_____/06:00083592 - isvavai.cz</a>

Výsledek na webu

—

DOI - Digital Object Identifier

—

Jazyk výsledku

angličtina

Název v původním jazyce

Influence of silicon nitride layers on the minority carrier diffusion length in silicon wafers

Popis výsledku v původním jazyce

The main purpose of this work was the comparison of the silicon nitride prepared by the LP CVD and by the MW PE CVD from silane and ammonia gases with respect to the possibility of passivation c-Si surface layer. The properties of the silicon nitride films were studied by the surface photovoltage (SPV), FTIR and SIMS methods. The average value of the diffusion length of minority carriers in the Si samples with the LP CVD nitride was shorter and dependent on the location in the reactor.

Název v anglickém jazyce

Influence of silicon nitride layers on the minority carrier diffusion length in silicon wafers

Popis výsledku anglicky

The main purpose of this work was the comparison of the silicon nitride prepared by the LP CVD and by the MW PE CVD from silane and ammonia gases with respect to the possibility of passivation c-Si surface layer. The properties of the silicon nitride films were studied by the surface photovoltage (SPV), FTIR and SIMS methods. The average value of the diffusion length of minority carriers in the Si samples with the LP CVD nitride was shorter and dependent on the location in the reactor.

Druh

D - Stať ve sborníku

CEP obor

BM - Fyzika pevných látek a magnetismus

OECD FORD obor

—

Projekt

—

Návaznosti

Z - Vyzkumny zamer (s odkazem do CEZ)

Rok uplatnění

2006

Kód důvěrnosti údajů

S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů

Název statě ve sborníku

Proceedings of the International Conference Twentyfirst European Photovoltaic Solar Energy

ISBN

3-936338-20-5

ISSN

—

e-ISSN

—

Počet stran výsledku

3

Strana od-do

960-962

Název nakladatele

WIP-Renewable Energies

Místo vydání

München

Místo konání akce

Dresden

Datum konání akce

4. 9. 2006

Typ akce podle státní příslušnosti

EUR - Evropská akce

Kód UT WoS článku

—