Floating Harmonic Probe Measurements in the Low-Temperature Plasma Jet Deposition System
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F17%3A10372267" target="_blank" >RIV/00216208:11320/17:10372267 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="https://www.mff.cuni.cz/veda/konference/wds/proc/pdf17/WDS17_12_f2_Zanaska.pdf" target="_blank" >https://www.mff.cuni.cz/veda/konference/wds/proc/pdf17/WDS17_12_f2_Zanaska.pdf</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Floating Harmonic Probe Measurements in the Low-Temperature Plasma Jet Deposition System
Popis výsledku v původním jazyce
The floating harmonic probe (FHP) is a relatively new plasma diagnostic method, which was proposed to be used in conditions when insulating films are being deposited on the probe and classical Langmuir probe method fails. An AC voltage is applied to the FHP and from the measured AC probe current waveforms the electron temperature and the ion density can be obtained. In this contribution we present the comparison of the FHP with the classical Langmuir probe and results obtained during deposition of insulating iron oxide thin film.
Název v anglickém jazyce
Floating Harmonic Probe Measurements in the Low-Temperature Plasma Jet Deposition System
Popis výsledku anglicky
The floating harmonic probe (FHP) is a relatively new plasma diagnostic method, which was proposed to be used in conditions when insulating films are being deposited on the probe and classical Langmuir probe method fails. An AC voltage is applied to the FHP and from the measured AC probe current waveforms the electron temperature and the ion density can be obtained. In this contribution we present the comparison of the FHP with the classical Langmuir probe and results obtained during deposition of insulating iron oxide thin film.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
—
OECD FORD obor
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Návaznosti výsledku
Projekt
<a href="/cs/project/GA15-00863S" target="_blank" >GA15-00863S: Studium impulzních plazmatických systémů k depozici tenkých vrstev pro fotonické aplikace</a><br>
Návaznosti
P - Projekt vyzkumu a vyvoje financovany z verejnych zdroju (s odkazem do CEP)
Ostatní
Rok uplatnění
2017
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
WDS'17 Proceedings of Contributed Papers — Physics
ISBN
978-80-7378-356-3
ISSN
—
e-ISSN
neuvedeno
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
82-87
Název nakladatele
Matfyzpress
Místo vydání
Praha
Místo konání akce
Prague, Czech Republic
Datum konání akce
6. 6. 2017
Typ akce podle státní příslušnosti
EUR - Evropská akce
Kód UT WoS článku
—