Floating Harmonic Probe for Diagnostics of Pulsed Discharges
Identifikátory výsledku
Kód výsledku v IS VaVaI
<a href="https://www.isvavai.cz/riv?ss=detail&h=RIV%2F00216208%3A11320%2F18%3A10389733" target="_blank" >RIV/00216208:11320/18:10389733 - isvavai.cz</a>
Výsledek na webu
<a href="https://www.mff.cuni.cz/veda/konference/wds/proc/pdf18/WDS18_23_f2_Zanaska.pdf" target="_blank" >https://www.mff.cuni.cz/veda/konference/wds/proc/pdf18/WDS18_23_f2_Zanaska.pdf</a>
DOI - Digital Object Identifier
—
Alternativní jazyky
Jazyk výsledku
angličtina
Název v původním jazyce
Floating Harmonic Probe for Diagnostics of Pulsed Discharges
Popis výsledku v původním jazyce
The floating harmonic probe (FHP) is a relatively new plasma diagnostic method for electron temperature and positive ion density measurement, which was proposed to be used in conditions when insulating films are being deposited on the probe and, consequently, classical Langmuir probe method fails. Recently an extension of this method called PDHAM - phase delay harmonic analysis method - applicable also to pulsed discharges was proposed. In this contribution we study the possible limitations of this new method and present the comparison of the PDHAM with the time-resolved Langmuir probe in pulsed planar magnetron discharge in nonreactive regime, when no insulating film was deposited on the probe.
Název v anglickém jazyce
Floating Harmonic Probe for Diagnostics of Pulsed Discharges
Popis výsledku anglicky
The floating harmonic probe (FHP) is a relatively new plasma diagnostic method for electron temperature and positive ion density measurement, which was proposed to be used in conditions when insulating films are being deposited on the probe and, consequently, classical Langmuir probe method fails. Recently an extension of this method called PDHAM - phase delay harmonic analysis method - applicable also to pulsed discharges was proposed. In this contribution we study the possible limitations of this new method and present the comparison of the PDHAM with the time-resolved Langmuir probe in pulsed planar magnetron discharge in nonreactive regime, when no insulating film was deposited on the probe.
Klasifikace
Druh
D - Stať ve sborníku
CEP obor
—
OECD FORD obor
10305 - Fluids and plasma physics (including surface physics)
Návaznosti výsledku
Projekt
—
Návaznosti
S - Specificky vyzkum na vysokych skolach<br>I - Institucionalni podpora na dlouhodoby koncepcni rozvoj vyzkumne organizace
Ostatní
Rok uplatnění
2018
Kód důvěrnosti údajů
S - Úplné a pravdivé údaje o projektu nepodléhají ochraně podle zvláštních právních předpisů
Údaje specifické pro druh výsledku
Název statě ve sborníku
WDS'18 Proceedings of Contributed Papers — Physics
ISBN
978-80-7378-374-7
ISSN
—
e-ISSN
neuvedeno
Počet stran výsledku
6
Strana od-do
150-155
Název nakladatele
Matfyzpress
Místo vydání
Praha
Místo konání akce
Prague, Czech Republic
Datum konání akce
5. 6. 2018
Typ akce podle státní příslušnosti
EUR - Evropská akce
Kód UT WoS článku
—